发明授权
- 专利标题： Verfahren und Vorrichtung zur Korpuskularbestrahlung
- 专利标题（英）： Process and device for corpuscular irradiation
- 专利标题（中）： 用于微光辐照的方法和装置
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申请号： EP80810330.3申请日： 1980-10-31
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公开(公告)号： EP0028585B1公开(公告)日： 1985-02-27
- 发明人: Hahn, Eberhard, Dr.
- 申请人： Jenoptik Jena G.m.b.H. , VEB Carl Zeiss Jena
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Strasse 1 D-07743 Jena DE
- 专利权人： Jenoptik Jena G.m.b.H.,VEB Carl Zeiss Jena
- 当前专利权人： Jenoptik Jena G.m.b.H.,VEB Carl Zeiss Jena
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Strasse 1 D-07743 Jena DE
- 代理机构： Schweizer, Hans
- 优先权： DD216600 19791101; DD224257 19801001
- 主分类号： H01J37/00
- IPC分类号： H01J37/00 ; H01J3/00 ; H01L21/26
公开/授权文献
- EP0028585A1 Verfahren und Vorrichtung zur Korpuskularbestrahlung 公开/授权日：1981-05-13
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