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1.发明公开Schaltungsanordnung zur optimalen Stromerzeugung bei Prozessen der elektrochemisch initiierten plasmachemischen Schichterzeugung 失效在电化学引发等离子体化学层的生产的工艺电路，用于最佳的发电。
公开(公告)号：EP0508350A2
公开(公告)日：1992-10-14
申请号：EP92105924.2
申请日：1992-04-06
IPC分类号： H02M3/156
CPC分类号： C25D11/04 , C25D11/024
摘要： Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Stromversorgung bei Prozessen der elektrochemisch initiierten plasmachemischen Schichterzeugung. Sie findet vorzugsweise bei der plasmachemischen Umwandlung elektrochemisch vorgebildeter Schichten, z. B. auf Leichtmetallen, Anwendung. Erfindungsgemäß ist der Ausgang des stellbaren Drehstrom-Transformators (1) mit nachgeschalteter 6-Puls-Gleichrichterschaltung (2) zweifach verzweigt, wobei eine erste Brückenschaltung aus einem zu einem Spannungssensor (9) parallel geschalteten Kondensator (8) besteht, eine zweite Brückenschaltung eine Freilaufdiode (10) parallel zur Strombegrenzungsdrossel (3) und dem Bad (5) zur Prozeßdurchführung, zu dem ein Impulsanalysator (4) parallel liegt, enthält und beide Brückenschaltungen durch ein Schalterbauelement (6) getrennt sind. Zur Indikation der mit der Schaltungsanordnung gesteuerten gepulsten Plasmaentladungen ist im Bad (5) zur Prozeßdurchführung ein optoelektronischer Sensor (11) eingebracht, der wie der Impulsanalysator (4), der Spannungssensor (9) und ein Stromsensor (7) mit der Steuereinheit (12) in Verbindung steht, wobei die Steuereinheit (12) das Schalterbauelement (6) mit dem Drehstrom-Transformator (1) gezielt beeinflußt, um Impulsfrequenz und Tastverhältnis optimal einzustellen.
摘要翻译： 本发明涉及在电化学引发等离子体化学层的生产工艺用于提供电流的电路布置。 它优选在电化学预制层的等离子体化学转化所使用的，关于轻合金为例。 。根据本发明，可调节的三相变压器的输出（1）分支两次与下游连接的6脉冲整流器电路（2），（8）并联连接在电压的第一电桥电路组成的电容器的 传感器（9），第二电桥电路包含一个续流二极管（10）平行于所述限流电感器（3）和所述槽（5），用于进行该方法，在平行于其中有一个脉冲分析仪（4） 和这两个电桥电路由开关元件（6）分离。 一个光电传感器（11）被装配在槽（5）的操作顺序，以指示其是由所述的电路装置，其中传感器（11）控制，并被连接到控制单元的脉冲等离子体放电进行处理（12 ）中相同的方式，该脉冲分析仪（4），电压传感器（9）和电流传感器（7），控制单元（12）影响所述开关部件（6）与所述三相变压器（1）中 到客观的方式，为了设定脉冲频率和占空比的最佳值。 ...
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公开(公告)号：EP0028585B1
公开(公告)日：1985-02-27
申请号：EP80810330.3
申请日：1980-10-31
发明人： Hahn, Eberhard, Dr.
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J2237/043 , H01J2237/31777
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公开(公告)号：EP0051567A1
公开(公告)日：1982-05-12
申请号：EP81810440.8
申请日：1981-11-03
IPC分类号： G03B41/00
CPC分类号： G03F9/7088
摘要： Es werden eine Halbleiterscheibe und eine Schablone gegenüber einem lichtelektrischen Mess- und Abtastsystem und der beiden Gegenstände zueiander bei der schrittweisen Projektionslithografie für die Herstellung von Halbleiterstrukturen justiert. Es wird eine hochgenaue, dabei schnellstmögliche Justierung der beiden Gegenstände unter wahlweiser Benutzung der zur Zeit üblichen unterschiedlichen Justiermarken sowohl nach den dadurch beeinflusten Lichtströmen als auch nach ihrer Struktur ermöglicht.
Mittels eines optischen Abbildungssystems (10, 11, 12) wird ein Bild der Justiermarken 4, 5, 7, 8) beider Gegenstände (1,2) in der Abtastebene eines lichtelektrischen Mess- und Abtastsystems symmetrisch zu einer ortsfesten Achse dieses systems erzeugt.
Zur Bildsignalgewinnung werden zwei, durch einen auf der ortsfesten Achse liegenden Mittelsteg getrennte Bildausschnitte benutzt, die mit elektronischen oder mechanischen Mitteln erzeugt werden. Es entsteht so ein Zweistrahlverfahren. Die Bildabtastung erfolgt mittels einer Fernsehkameraröhre oder beweglicher Schlitzträger, wobei die beiden Bildausschnitte durch Kanalumschaltung abwechselnd zur Bildsignalerzeugung benutzt werden.
Ein Rechenwerk verarbeitet die Bildsignale und erzeugt Steuersignale für Stellglieder zur Justierung der beiden Gegenstände (1, 2).摘要翻译： 它可以调整在半导体晶片和相对于光电测量的掩模和感测系统和所述两个物体在半导体结构的制造的分步投影光刻zueiander。 这是可能都根据其特征beeinflusten光流和通过其结构的高精确度，另外，下任选使用当前可用的不同对准标记的两个对象的最快的可能的调整。 通过光学成像系统（10，11，12），8）的两个物体（1，2）中的光电测量和扫描对称有关此系统的固定轴线的扫描平面产生的对准标记4，5，7的图像的装置。 所述的图像信号获得两个，通过静止在固定轴中心Web图像部分被分开使用通过电子或机械装置产生。 这产生了双光束方法。 图像扫描是由电视摄像机管或柔性槽的载体，其中，所述两个图像部分通过通道交替地切换该图像信号生成中使用的装置进行。 算术单元处理的图像信号，并产生控制信号，用于致动器用于调节所述两个物体（1，2）。
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4.发明公开Elektrostatisches Austastsystem für einen sich in einer Ebene bewegenden oder viele in einer Ebene angeordnete statische Korpuskularstrahlen 失效对于在一个平面或在平面内移动的静电消隐系统布置许多静态红细胞。
公开(公告)号：EP0043351A2
公开(公告)日：1982-01-06
申请号：EP81810263.4
申请日：1981-06-26
CPC分类号： G21K1/087 , B23K15/0013 , H01J37/045 , H01J37/1477
摘要： Ein elektrostatisches Ablenksystem für Korpuskularstrahlen, bei dem einander gegenüberliegende Elektroden (5,6) mit einstellbaren Potentialen zur Ablenkung benutzt werden. Zur Erhöhung der Produktivität von Korpuskularstrahlgeräten besteht die Aufgabe, einen sich bewegenden' Korpuskularstrahl über seinen gesamten Schwenkbereich oder viele nebeneinanderliegende statische Korpuskularstrahlen gleichzeitig zu steuern. Das wird dadurch erreicht, daß eine Vielzahl von Elektroden (5,6) auf mindestens einem Paar einander gegenüberliegender, im wesentlichen gleichgerichteter Flächen (3,4) jeweils in einer Reihe nebeneinander liegend angeordnet sind. Jede Elektrode wenigstens einer der beiden Flächen eines Paares weist eine eigene Potentialzuführung (15, 16) auf. Die dem Korpuskularstrahl zugewandten Flächenteile zwischen den Elektroden sind elektrisch leitend.
摘要翻译： 为微粒束静电偏转系统在相对的电极（5,6）具有可调节的电位的偏转被使用。 为了增加Korpuskularstrahlgeräten的生产率，该对象是运动粒子射线在其整个摆动范围或许多相邻的静态红细胞同时控制。 这是在该至少一个对相对取得的多个电极（5,6），大致相同的方向朝向（3,4）彼此相邻被布置在一行中的每个情况。 一对的两个表面中的至少一个的每个电极具有其自身的电位供给（15,16）。 面对所述电极之间的粒子束表面部分侧是导电的。
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5.发明公开Anordnung zur Veränderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten 失效Anordnung zurVeränderungder Salzkonzentration vonFlüssigkeiten。
公开(公告)号：EP0065490A1
公开(公告)日：1982-11-24
申请号：EP82810216.0
申请日：1982-05-19
IPC分类号： C02F1/48
CPC分类号： C02F1/48 , C02F1/469 , C02F2201/48
摘要： Bei einer Anordnung zur Veränderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten sollen die Wirtschaftlichkeit, die Anwendungsbreite und die Auswirkungen auf die Umweltbedingungen erhöht werden. Aus diesem Grund ist mit möglichst einfachen Mitteln ohne lonenaustausch und ohne elektrolytische Abscheidung eine energiesparende, umweltfreundliche sowie technisch gut beherrschbare Anordnung zur Änderung der Salzkonzentration von Flüssigkeiten in grossen Konzentrationsbereichen zu schaffen. Erfindungsgemäss wird durch die gleichzeitige Einwirkung eines magnetischen und eines elektrischen Wechselfeldes auf die Flüssigkeit eine lonenbewegung unter Verhinderung von lonenrekombinationen hervorgerufen. Eine gezielte lonenbewegung führt zu lokalen Zonen unterschiedlicher lonenkonzentration und -polarität, aus denen die Flüssigkeitsvolumina entnehmbar sind. Die Umrichtung der Wechselfelder verhindert eine elektrolytische Abscheidung, insbesondere von abscheidbaren Metallen, an den Elektroden.
摘要翻译： 在改变液体盐浓度的布置中，期望经济性，应用范围和对环境条件的影响增加。 为此，本发明旨在产生一种节能，环保和技术上易于控制的布置，以非常简单的方式在没有离子交换和无电解沉积的情况下，以广泛的浓度范围改变液体的盐浓度。 根据本发明，磁和电交变场对液体的同时作用导致离子迁移，同时防止离子复合。 选择性离子迁移导致不同离子浓度和极性的局部区域，液体的体积可以从该离子浓度和极性被去除。 交变场的极性变化防止电极上的电解沉积，特别是可沉积的金属。
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公开(公告)号：EP0028585A1
公开(公告)日：1981-05-13
申请号：EP80810330.3
申请日：1980-10-31
发明人： Hahn, Eberhard, Dr.
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J2237/043 , H01J2237/31777
摘要： Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung offenbart, die beliebige Muster ohne Verzögerungszeit und mit hoher Genauigkeit auf ein Target abzubilden gestatten. Dazu wird dem Korpuskularstrahlbenbündel ein zusätzliches über seinen gesamten Querschnitt partiell differenziertes elektromagnetisches Feld aufgeprägt, das das Korpuskularstrahlenbündel hinsichtlich seiner Intensität strukturiert. Als Mittel zur Erzeugung eines in sich strukturierten Feldes dienen linien-oder flächenförmig ausgebildete Elektrodenraster, von denen jede Elektrode eine unterschiedliche Ladung erhalten kann und die das jeweilige Strahlenbündel reflektierend oder streifend beeinflussen.
摘要翻译： 中，公开的方法和装置来映射图案而没有任何时间延迟且高精度地到目标允许。 为了这个目的，印象在Korpuskularstrahlbenbündel一个附加在其整个横截面部分地分化的电磁场，该电磁场结构Korpuskularstrahlenbündel在其强度方面。 作为用于生成结构化的场的装置是在线或面状的栅格电极，每个电极可以接收不同的电荷和对光线反射或漫游服务的相应波束的影响。
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公开(公告)号：EP0027100B1
公开(公告)日：1985-03-13
申请号：EP80810305.5
申请日：1980-10-01
发明人： Feist, Wieland, Dr.
IPC分类号： G01C1/06
CPC分类号： G01C1/06
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公开(公告)号：EP0028581B1
公开(公告)日：1984-02-22
申请号：EP80810320.4
申请日：1980-10-23
发明人： Meyl, Wolfgang , Hentschel, Peter
IPC分类号： G01C15/00
CPC分类号： G01C15/00
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9.发明公开Anordnung zur Geländevermessung mit einem elektronischen Tachymeter 失效Anordnung zurGeländevermessungmit einem elektronischen Tachymeter。
公开(公告)号：EP0028581A1
公开(公告)日：1981-05-13
申请号：EP80810320.4
申请日：1980-10-23
发明人： Meyl, Wolfgang , Hentschel, Peter
IPC分类号： G01C15/00
CPC分类号： G01C15/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Messanordnung mit elektronischem Tachymeter und mnemonischem Kompilator (5) für semantische Informationen. Sie kann vorzugsweise bei umfangreichen Geländeufnahmen für Karten, besonders in grossen Massstäben, oder als Grundlage für ein digitales Geländemodell angewendet werden. Semantische Informationen sollten bei freier Bewegung im Gelände sofort in digitaler Form z.B. auf machinenlesbarem Datenträger erhalten werden können, d.h. in der gleichen Art wie die bereits mit einem hohen Automatisierungsgrad erfassten und gespeicherten metrischen Informationen. Ein elektronisches Taschengerät (mnemonischer Kompilator) (5) weist eine Tastenmatrix, eine Zehnertastatur, einen Speicher und eine Ziffernanzeige auf. Es wird jeweils eine Deckfolie mit einer nach mnemonischen Gesichtspunkten aufgestellten Symbolmatrix (9) über die Tastenmatrix (15) geschoben. Dadurch können die semantischen Informationen sofort oder später mit den zugehörigen metrischen Informationen zwecks I Verarbeitung z.B. auf einem Kartierautomaten verknüpft werden.
摘要翻译： 1.具有电子速度计（2）的土地测量装置，用于处理在速度计（2）中获得的测量值的数据分析器（3）和用于将处理的测量值中继到存储器（1）的收发器装置（4） ）或用于处理并将处理的测量中继到存储器（1）的数据补充器（7），其特征在于，为语义数据的输入提供移动助记符编译器（5），移动助记符编译器（5）包含 临时存储器（27-30），数字信号（19），可交换符号矩阵（9），密钥矩阵（15）和十进制键盘（16），并且符号矩阵（9）和密钥 矩阵（15）具有相同的格式，并且相对于彼此设置为与符号矩阵（9）的每个符号相关联，键矩阵（15）的对应密钥相关联。
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10.发明公开
公开(公告)号：EP0027100A1
公开(公告)日：1981-04-15
申请号：EP80810305.5
申请日：1980-10-01
发明人： Feist, Wieland, Dr.
IPC分类号： G01C1/06
CPC分类号： G01C1/06
摘要： Bei Vermessungsgeräten, insbesondere Theodoliten, wird die Stehachsenfehlerbestimmung und ihre Berücksichtigung bei der Horizontalwinkelmessung durch die Beziehung der Indices für die Horizontalkreisanzeigen und für die Vertikalkreisanzeige aufeinander erreicht. Der Abstand beider Indices voneinander wird mikrometrisch gemessen. Die Beziehung der beiden Indices aufeinander kann entweder optisch-örtlich oder elektronisch-zeitlich erfolgen.
摘要翻译： 在测量仪器，特别是经纬仪，垂直轴误差确定，以及它们在由所述索引用于水平圆和显示用于垂直圆显示的的关系来测量水平角考虑的是在彼此来实现。 彼此两个索引之间的距离被测量micrometrically。 可以彼此，这两个指数的关系发生在本地或光 - 电 - 时间。
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