发明授权
- 专利标题： Process for forming a metallurgy interconnection system
- 专利标题（中）： 形成金属互连系统的过程
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申请号： EP81104439.5申请日： 1981-06-10
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公开(公告)号： EP0043458B1公开(公告)日： 1984-06-06
- 发明人: Chang, Kenneth , Chiu, George Tein-Chu , Hoeg, Anthony John, Jr. , Lee, Linda Hwa-Chun
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Oechssler, Dietrich (DE)
- 优先权： US165537 19800703
- 主分类号： G03F7/26
- IPC分类号： G03F7/26 ; H05K3/06 ; H01L23/50
公开/授权文献
- EP0043458A2 Process for forming a metallurgy interconnection system 公开/授权日：1982-01-13
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