发明授权
- 专利标题： Capacitive pressure transducers and methods of fabricating them
- 专利标题（中）： 电容式压力传感器及其制作方法
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申请号： EP81106255.3申请日： 1981-08-11
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公开(公告)号： EP0049344B1公开(公告)日： 1985-12-18
- 发明人: Petersen, Kurt Edward
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Hobbs, Francis John
- 优先权： US193860 19801003
- 主分类号： G01L9/00
- IPC分类号： G01L9/00 ; G01L9/12 ; H01L29/84
公开/授权文献
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