发明授权
- 专利标题： On-machine reticle inspection device
- 专利标题（中）： 机器检验检测设备
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申请号： EP82302407.0申请日： 1982-05-11
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公开(公告)号： EP0065411B1公开(公告)日： 1986-11-12
- 发明人: Johannsmeier, Karl-Heinz , Phillips, Edward H.
- 申请人： EATON-OPTIMETRIX INC.
- 申请人地址： 4001 North First Street San Jose California 95134 US
- 专利权人： EATON-OPTIMETRIX INC.
- 当前专利权人： EATON-OPTIMETRIX INC.
- 当前专利权人地址： 4001 North First Street San Jose California 95134 US
- 代理机构： Liesegang, Roland, Dr.-Ing.
- 优先权： US264410 19810518
- 主分类号： G03B41/00
- IPC分类号： G03B41/00
公开/授权文献
- EP0065411A1 On-machine reticle inspection device 公开/授权日：1982-11-24
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