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EP0105439A2 Spektrometerobjektiv mit parallelen Objektiv- und Spektrometerfeldern für die Potentialmesstechnik 失效
光谱仪镜头与潜在计量平行镜头和光谱仪领域。

Spektrometerobjektiv mit parallelen Objektiv- und Spektrometerfeldern für die Potentialmesstechnik
摘要：
Eine Vorrichtung für die Potentialmeßtechnik mit einer Objektivlinse zur Fokussierung von Primärelektronen (PE) auf ein Objekt (PR) und mit einem Spektrometer zur Energieselektion von Sekundärelektronen soll eine Verbessergung der quantitativen Potentialmessung an Leitbahnen von integrierten mikroelektronischen Bauelementen mit verbesserter Ortsauflösung, höherem Sondenstrom und verbesserter Potentialauflösung ermöglichen. Die Objektivlinse ist eine magnetische Linse, bei der das Linsenfeld (B) weitgehend außerhalb des Linsenkörpers liegt, und das Spektrometer ist ein elektrostatisches Gegenfeld-Spektrometer und im magnetischen Feld (B) dieser Linse angeordnet.
摘要（中）：

与用于聚焦的一次电子（PE）上的物体（PR）的物镜用于Potentialmeßtechnik的装置和具有用于二次电子的能量选择到的具有改善的空间分辨率的集成微电子器件的导电迹线定量电势测量的Verbessergung分光计，更高的探测电流的和改进的潜力分辨率 允许。 物镜是一个磁透镜，其中所述透镜阵列（B）主要是透镜体的外部，所述光谱仪是设置在该透镜的磁场的静电场相对的光谱仪和（B）。

摘要（英）：

An apparatus for Potentialmeßtechnik with an objective lens for focusing the primary electron (PE) to an object (PR) and a spectrometer for energy selection of secondary electrons is one Verbessergung quantitative potential measurement of interconnects of integrated microelectronic devices with improved spatial resolution, higher probe current and improved potential resolution enable. The objective lens is a magnetic lens, wherein the lens array (B) lies largely outside the lens body, and the spectrometer is an electrostatic opposing field spectrometer and this lens disposed in the magnetic field (B).

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