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    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ELEKTRONENTRANSFER VON EINER PROBE ZU EINEM ENERGIEANALYSATOR UND ELEKTRONEN-SPEKTROMETERVORRICHTUNG
    5.
    发明公开
    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ELEKTRONENTRANSFER VON EINER PROBE ZU EINEM ENERGIEANALYSATOR UND ELEKTRONEN-SPEKTROMETERVORRICHTUNG 审中-公开

    公开(公告)号：EP3712924A1

    公开(公告)日：2020-09-23

    申请号：EP20163611.5

    申请日：2020-03-17

    Applicant: SPECS Surface Nano Analysis GmbH

    Inventor： Schönhense, Gerd ,  Kampen, Thorsten ,  Schaff, Oliver ,  Mähl, Sven

    IPC: H01J49/44 ,  H01J37/04 ,  H01J37/252 ,  H01J37/05 ,  H01J49/48

    Abstract: Eine Elektronen-Abbildungsvorrichtung 100, die für einen Elektronentransfer entlang einer elektronenoptischen Achse OA von einer Elektronen 2 emittierenden Probe 1 zu einer Energieanalysatorvorrichtung 200 eingerichtet ist, umfasst eine probenseitige erste Linsengruppe 10, eine analysatorseitige zweite Linsengruppe 30 und eine Ablenkeinrichtung 20, die zur Ablenkung der Elektronen 2 in einer Austrittsebene der Elektronen-Abbildungsvorrichtung 100 in einer Ablenkrichtung senkrecht zur elektronenoptischen Achse OA eingerichtet ist, wobei die erste Linsengruppe 10 eine erste reziproke Ebene RP1 innerhalb der ersten Linsengruppe 10 und eine erste Gauß-Ebene GP1 zwischen der ersten und der zweiten Linsengruppe 10, 30 bildet und zur Erzeugung eines ersten Impulsverteilungsbildes einer Impulsverteilung von Elektronen 2 aus der Probe 1 in der ersten reziproken Ebene RP1 und zur Erzeugung eines ersten Gauß-Bildes der Probe 1 in der ersten Gauß-Ebene GP1 eingerichtet ist, die zweite Linsengruppe 30 eine zweite reziproke Ebene RP2 analysatorseitig von der zweiten Linsengruppe 30 bildet und zur Erzeugung eines zweiten Impulsverteilungsbildes der Impulsverteilung der Elektronen 2 aus der Probe 1 in der zweiten reziproken Ebene RP2 eingerichtet ist, und die erste Linsengruppe 10 zur Erzeugung des ersten Gauß-Bildes mit einer derartig geringen Größe eingerichtet ist, dass das mit der zweiten Linsengruppe 30 erzeugte zweite Impulsverteilungsbild ein Parallelbild ist. Es werden auch eine Elektronen-Spektrometervorrichtung, ein Elektronentransferverfahren und ein Elektronen-Spektrometrieverfahren beschrieben.

    FILTER ASSEMBLY FOR DISCRIMINATING SECONDARY AND BACKSCATTERED ELECTRONS IN A NON-TRANSMISSION CHARGED PARTICLE MICROSCOPE
    8.
    发明公开
    FILTER ASSEMBLY FOR DISCRIMINATING SECONDARY AND BACKSCATTERED ELECTRONS IN A NON-TRANSMISSION CHARGED PARTICLE MICROSCOPE 审中-公开
    过滤器装置在非透射LADUNGSTRÄGERTEILCHENMIKROSKOPSEPARATING二次和背散射电子

    公开(公告)号：EP3174085A1

    公开(公告)日：2017-05-31

    申请号：EP15196917.7

    申请日：2015-11-30

    Applicant: FEI Company

    Inventor： Vasina, Radovan

    IPC: H01J37/05 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/24475

    Abstract: A method of examining a specimen in a non-transmission Charged Particle Microscope, comprising the following steps:
    - Providing a specimen on a specimen holder;
    - Directing an irradiating beam of charged particles from a source through an illuminator so as to irradiate the specimen;
    - Causing relative motion of the beam relative to the specimen, so as to trace out a scan path;
    - Using a detector to detect a flux of electrons emanating from the specimen in response to said irradiation,

    wherein a filter assembly is provided between said specimen and illuminator, and is used to manipulate said flux of electrons so as to:
    - Preferentially pass a first category of electrons to the detector;
    - Selectively impede a second category of electrons from being registered by the detector, whereby:
    - Electrons in said first category have a higher energy than electrons in said second category;
    - The filter assembly causes a deflection of electrons in said flux, which deflection is different for said first and second categories.

    Abstract translation: 检查在非传输带电粒子显微镜标本，包括以下步骤的方法： - 提供在试样保持器的样本; - 从源通过带电粒子的照射的光束以照明器以便照射样品的导演; - 曹景伟束相对于试样的相对运动，以便描绘出的扫描路径; - 使用检测器来检测响应于所述照射由试样放出电子通量，worin一过滤器组件，所述样本和照明器之间提供，并用于操纵电子的所述通量，以便： - 优选地通过一个第一 电子检测器的类别; - 选择性地从由所述检测器被注册阻碍电子的第二类别，由此： - 在所述的第一类电子具有比在所述第二类的电子的能量更高; - 过滤器组件使得电子在所述焊剂，其中偏转为所述第一和第二类别的不同的偏转。

    IONIZATION GAUGE WITH OPERATIONAL PARAMETERS AND GEOMETRY DESIGNED FOR HIGH PRESSURE OPERATION
    9.
    发明公开
    IONIZATION GAUGE WITH OPERATIONAL PARAMETERS AND GEOMETRY DESIGNED FOR HIGH PRESSURE OPERATION 有权
    IONISIERUNGSMESSGERÄTMITFÜRHOCHDRUCKBETRIEB AUSGELEGTEN BETRIEBSPARAMETERN UND GEOMETRIE

    公开(公告)号：EP2252869A4

    公开(公告)日：2017-05-10

    申请号：EP09713559

    申请日：2009-02-19

    Applicant: MKS INSTR INC

    Inventor： BRUCKER GERARDO A

    IPC: G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  G01N27/62 ,  H01J37/05 ,  H01J41/04

    CPC classification number: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J41/02

    Abstract: An ionization gauge to measure pressure and to reduce sputtering yields includes at least one electron source that generates electrons. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by the collisions between the electrons and gas molecules. The ionization gauge also includes an anode. An anode bias voltage relative to a bias voltage of a collector electrode is configured to switch at a predetermined pressure to decrease a yield of sputtering collisions.

    Abstract translation: 用于测量压力和减少溅射产额的电离计包括至少一个产生电子的电子源。 电离计还包括集电极，其收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子。 电离计还包括阳极。 相对于集电极的偏置电压的阳极偏置电压被配置为在预定压力下切换以降低溅射碰撞的产量。

    ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROMETER
    10.
    发明公开
    ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROMETER 审中-公开
    电子能量损失谱仪

    公开(公告)号：EP3161851A2

    公开(公告)日：2017-05-03

    申请号：EP15734022.5

    申请日：2015-06-25

    Applicant: Gatan, Inc.

    Inventor： GUBBENS, Alexander, Jozef ,  TREVOR, Colin ,  TWESTEN, Ray, Dudley ,  BARFELS, Melanie

    IPC: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

    CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

    Abstract: An electron energy loss spectrometer for electron microscopy is disclosed having an electrically isolated drift tube extending through the bending magnet and through subsequent optics that focus and magnify the spectrum. An electrostatic or magnetic lens is located either before or after or both before and after the drift tube and the lens or lenses are adjusted as a function of the bending magnet drift tube voltage to maintain a constant net focal length and to avoid defocusing. An energy selecting slit is included in certain embodiments to cleanly cut off electrons dispersed outside the energy range incident on the detector, thereby eliminating artifacts caused by unwanted electrons scattering back into the spectrum.

    Abstract translation: 公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失谱仪，该电子能量损失谱仪具有电绝缘漂移管，该绝缘漂移管延伸穿过弯曲磁体并穿过后续的聚焦并放大光谱的光学器件。 根据弯曲磁体漂移管电压调整漂移管和透镜或多个透镜之前或之后或之前和之后的静电或磁性透镜，以保持恒定净焦距并避免散焦。 在某些实施例中包括能量选择狭缝以清洁地截断分散在入射到检测器上的能量范围之外的电子，由此消除由散射回到光谱中的不需要的电子引起的伪影。

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