发明授权
- 专利标题： Apparatus and method for plasma treatment of resin material
- 专利标题（中）： 装置及合成树脂的等离子体处理方法。
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申请号： EP84101926.8申请日： 1984-02-23
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公开(公告)号： EP0120307B1公开(公告)日： 1994-06-15
- 发明人: Fukuta, Kenji , Kaneko, Takaoki , Takahashi, Yoshinobu
- 申请人： TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 1, Toyota-cho Toyota-shi Aichi-ken 471 JP
- 专利权人： TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 1, Toyota-cho Toyota-shi Aichi-ken 471 JP
- 代理机构： Tiedtke, Harro, Dipl.-Ing.
- 优先权： JP29370/83 19830225; JP63733/83 19830413; JP63734/83 19830413; JP63735/83 19830413; JP115273/83 19830628; JP115274/83 19830628; JP134416/83 19830725
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
公开/授权文献
- EP0120307A3 Apparatus and method for plasma treatment of resin material 公开/授权日：1989-05-03
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