发明授权
- 专利标题： Dispositif pour déposer en régime continu une couche de silicium polycristallin sur un ruban de carbone
- 专利标题（英）： Apparatus for the continuous deposition of a polycrystalline silicon layer on a carbon ribbon
- 专利标题（中）： 用于碳砖上多晶硅层的连续沉积的装置
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申请号： EP84110062.1申请日： 1984-08-23
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公开(公告)号： EP0141114B1公开(公告)日： 1988-09-21
- 发明人: Mautref, Michel , Belouet, Christian
- 申请人： COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE Société anonyme dite: , SOCIETE NATIONALE ELF AQUITAINE
- 申请人地址： 54, rue La Boétie 75382 Paris Cédex 08 FR
- 专利权人： COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE Société anonyme dite:,SOCIETE NATIONALE ELF AQUITAINE
- 当前专利权人： COMPAGNIE GENERALE D'ELECTRICITE Société anonyme dite:,SOCIETE NATIONALE ELF AQUITAINE
- 当前专利权人地址： 54, rue La Boétie 75382 Paris Cédex 08 FR
- 代理机构： Weinmiller, Jürgen
- 优先权： FR8313834 19830829; FR8319212 19831201
- 主分类号： G05D9/12
- IPC分类号： G05D9/12 ; G01D5/30 ; G01F23/28
公开/授权文献
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