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发明公开
EP0144522A2 Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen 失效
吸气剂吸附泵与储热高真空和排气系统。

  • 专利标题： Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen
  • 专利标题（英）： Getter sorption pump having a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants
  • 专利标题（中）： 吸气剂吸附泵与储热高真空和排气系统。
  • 申请号： EP84109511.0
    申请日： 1984-08-09
  • 公开(公告)号： EP0144522A2
    公开(公告)日： 1985-06-19
  • 发明人: Mägdefessel, Heinz, Ing. grad.
  • 申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
  • 申请人地址： Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
  • 专利权人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
  • 当前专利权人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
  • 当前专利权人地址： Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
  • 优先权： DE3332606 19830909
  • 主分类号： F04B37/02
  • IPC分类号： F04B37/02 ;  F04B37/14
Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen
摘要：
Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (3) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (1). Bei dieser Getterpumpe soll eine hohe Pumpgeschwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum erreicht werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel-Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolierrohr (2) angebracht ist.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.
摘要（中）：

本发明涉及一种吸气剂吸附泵与来自nichtverdampfendem吸气剂材料的至少一个吸气剂（3）和相关联的加热器元件（1）。 在该吸气剂通过一个非常大的表面在小的空间来实现高泵送速度。 本发明提供了用于此目的的是，加热元件（1）被布置在绝缘管（2），以及各种在绝缘管（2）相互隔开的单吸气机构（3）的安装。 根据本发明的吸气泵发生在高真空和排气系统中使用。

摘要（英）：

The invention relates to a getter sorption pump with at least one getter (3) from nichtverdampfendem getter material and an associated heater element (1). This getter a high pumping speed to be achieved by an extremely large surface in a small space. The invention provides for this purpose that the heating element (1) in an insulating tube (2) is arranged, and that a variety of single getter bodies (3) spaced from each other on the insulating tube (2) is mounted. A getter pump according to the invention takes place in high vacuum and gas discharge systems use.

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