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1.发明公开Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen 失效吸气剂吸附泵与储热高真空和排气系统。
公开(公告)号：EP0144522A2
公开(公告)日：1985-06-19
申请号：EP84109511.0
申请日：1984-08-09
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (3) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (1). Bei dieser Getterpumpe soll eine hohe Pumpgeschwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum erreicht werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel-Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolierrohr (2) angebracht ist.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.摘要翻译： 本发明涉及一种吸气剂吸附泵与来自nichtverdampfendem吸气剂材料的至少一个吸气剂（3）和相关联的加热器元件（1）。 在该吸气剂通过一个非常大的表面在小的空间来实现高泵送速度。 本发明提供了用于此目的的是，加热元件（1）被布置在绝缘管（2），以及各种在绝缘管（2）相互隔开的单吸气机构（3）的安装。 根据本发明的吸气泵发生在高真空和排气系统中使用。
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2.发明公开Getter-Pumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen 失效Getter-PumpefürHochvakuum- und Gasentladungsanlagen。
公开(公告)号：EP0144524A2
公开(公告)日：1985-06-19
申请号：EP84109514.4
申请日：1984-08-09
发明人： Heynisch, Hinrich, Dr. rer. nat. Dipl.-Phys. , Hübner, Erwin, Dr. rer. nat. , Mägdefessel, Heinz, Ing. grad.
IPC分类号： F04B37/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Pumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit in einem Pumpgefäß (3) angeordneten Getterkörpern (1) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und zugehörigen Heizelmenten (2). Mit dieser Getter- Pumpe soll die Herstellung eines Hochvakuums im Druckbereich ab 10- 3 mbar und besser durch nichtverdampfende Getter ermöglicht werden. Erfindungsgemäß ist hierzu vorgesehen, daß die Heizelemente (2) parallel geschaltet sind oder mehrere Heizelemente (2) gruppenweise in Reihe geschaltet und die Gruppen entweder parallel geschaltet oder einzeln herausgeführt sind.
Die erfindungsgemäße Getter-Pumpe ist in Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen verwendbar.摘要翻译： 吸气泵具有安装在泵容器（3）和相关联的加热元件（2）中的非蒸发吸气材料的吸气体（1）。 所述吸气泵旨在使得可能由于非蒸发吸气剂而在10 -3 mbar及更低的压力范围内产生高真空度。 为此，本发明提供了加热元件（2）并联连接或者多个加热元件（2）串联连接，这些组被并联连接或单独连接。 根据本发明的吸气泵可用于高真空和气体放电设备中。
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公开(公告)号：EP0144524A3
公开(公告)日：1986-10-08
申请号：EP84109514
申请日：1984-08-09
发明人： Heynisch, Hinrich, Dr. rer. nat. Dipl.-Phys. , Hübner, Erwin, Dr. rer. nat. , Mägdefessel, Heinz, Ing. grad.
IPC分类号： F04B37/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Pumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit in einem Pumpgefäß (3) angeordneten Getterkörpern (1) aus nichtver dampfendem Gettermaterial und zugehörigen Heizelmenten (2). Mit dieser Getter- Pumpe soll die Herstellung eines Hochvakuums im Druckbereich ab 10⁻³ mbar und besser durch nichtverdampfende Getter ermöglicht werden. Erfin dungsgemäß ist hierzu vorgesehen, daß die Heizelemente (2) parallel geschaltet sind oder mehrere Heizelemente (2) gruppenweise in Reihe geschaltet und die Gruppen entwe der parallel geschaltet oder einzeln herausgeführt sind.
Die erfindungsgemäße Getter-Pumpe ist in Hochvaku um- und Gasentladungsanlagen verwendbar.-
4.发明公开Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen 失效Getter-Sorptionspumpe mitWärmespeicherfürHochvakuum- und Gasentladungsanlagen。
公开(公告)号：EP0146685A2
公开(公告)日：1985-07-03
申请号：EP84109515.1
申请日：1984-08-09
IPC分类号： F04B37/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (1) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (5). Es soll die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung erhöht und mit Hilfe einer Wärmespeicherung langzeitig stabilisiert werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß der Getterkörper (1) auf seiner Außenoberfläche von einer Draht- Gaze (2) oder einem porösen, gasdurchlässigen Sinterrohr (3) eingehüllt ist, und mit seiner Innenoberfläche an mindestens ein wärmespeicherndes Isolierrohr (4) angrenzt, das außerdem als Träger für das Heizelement (5) dient.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuumund Gasentladungsanlagen Verwendung.摘要翻译： 吸气剂吸附泵具有至少一个由非蒸发吸气材料制成的吸气体（1）和相关的加热元件（5）。 其目的是增加吸气泵的比输出量，同时减少所需的加热功率，并使用蓄热器长期稳定。 为此目的，本发明提供吸气体（1）的外表面包裹丝网（2）或多孔透气烧结管（3），其内表面与至少一个蓄热绝缘体 管（4），其也用作对加热元件（5）的支撑。 根据本发明的吸气泵用于高真空和气体放电设备中。
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5.发明公开Getter sorption pump having a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants 失效具有用于高真空和气体排放植物的热量累积器的入口泵
公开(公告)号：EP0144522A3
公开(公告)日：1986-10-15
申请号：EP84109511
申请日：1984-08-09
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptions pumpe mit mindestens einem Getterkörper (3) aus nichtver dampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heize lement (1). Bei dieser Getterpumpe soll eine hohe Pumpge schwindigkeit durch eine extrem große Oberfläche auf kleinstem Raum erreicht werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) in einem Isolierrohr (2) angeordnet ist, und daß eine Vielzahl von Einzel- Getterkörpern (3) voneinander beabstandet auf dem Isolier rohr (2) angebracht ist.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochva kuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.-
6.发明公开Getter sorption pump with heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants 失效用于高真空和气体排放装置的热量累加器的吸附泵
公开(公告)号：EP0146685A3
公开(公告)日：1986-10-01
申请号：EP84109515
申请日：1984-08-09
IPC分类号： F04B37/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptions pumpe mit mindestens einem Getterkörper (1) aus nichtver dampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heize lement (5). Es soll die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderli chen Heizleistung erhöht und mit Hilfe einer Wärmespeiche rung langzeitig stabilisiert werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß der Getterkörper (1) auf seiner Außenoberfläche von einer Draht- Gaze (2) oder einem porösen, gasdurchläs sigen Sinterrohr (3) eingehüllt ist, und mit seiner Innenober fläche an mindestens ein wärmespeicherndes Isolierrohr (4) angrenzt, das außerdem als Träger für das Heizelement (5) dient.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochva kuumund Gasentladungsanlagen Verwendung.-
7.发明公开Getter sorption pump with a heat accumulator for high-vacuum and gas discharge plants 失效具有用于高真空和气体排放植物的热量累积器的入口泵
公开(公告)号：EP0144523A3
公开(公告)日：1986-10-08
申请号：EP84109512
申请日：1984-08-09
IPC分类号： F04B37/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptions pumpe mit mindestens einem Getterkörper (4) aus nichtver dampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heize lement (1). Es soll die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderli chen Heizleistung erhöht und mit Hilfe einer Wärmespeiche rung höchster Wärmespeicherkapazität langzeitig stabilisiert werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) auf einem Sinterkeramikkörper (2) angebracht ist, und daß sich darüber ein Isolierrohr (3) befindet, auf das der Getterkörper (4) aufgesintert ist.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hichva kuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.-
8.发明公开Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen 失效吸气剂吸附泵与储热高真空和排气系统。
公开(公告)号：EP0144523A2
公开(公告)日：1985-06-19
申请号：EP84109512.8
申请日：1984-08-09
IPC分类号： F04B37/02
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (4) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (1). Es soll die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung erhöht und mit Hilfe einer Wärmespeicherung höchster Wärmespeicherkapazität langzeitig stabilisiert werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß das Heizelement (1) auf einem Sinterkeramikkörper (2) angebracht ist, und daß sich darüber ein lsolierrohr (3) befindet, auf das der Getterkörper (4) aufgesintert ist.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hichvakuum- und Gasentladungsanlagen Verwendung.摘要翻译： 本发明涉及一种吸气剂吸附泵与nichtverdampfendem吸气材料中的至少一种吸气剂（4）和相关联的加热器元件（1）。 应当增加，吸气泵在需要的供热功率的同时还原和长期的特定能力通过蓄热热量最高的存储容量的装置稳定。 本发明提供了用于此目的的是在烧结的陶瓷体在加热元件（1）（2）附接，并且绝缘管（3）是一个关于哪个吸气剂体（4）进行烧结。 根据本发明的吸气泵发生在Hichvakuum-和气体排出系统使用。
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