发明公开
EP0230617A1 Dispositif pour former un bain d'un matériau semi-conducteur fond afin d'y faire croître un élément cristallin 失效
装置,用于显示现有的半导体材料熔化用于制造液晶元件。

Dispositif pour former un bain d'un matériau semi-conducteur fond afin d'y faire croître un élément cristallin
摘要:
Il comporte un récipient d'alimentation (10) dont le fond est muni d'une ouverture (14), des moyens d'alimentation (15 à 17) du récipient (10) en silicium solide et des moyens de chauffage (11 à 13) du récipient, celui-ci étant placé au dessus d'un creuset (1) contenant le bain (8) pour que le silicium liquide du récipient (10) s'écoule par l'ouver­ture (14) dans le creuset (1) lorsque le niveau (h) de silicium liquide dans le récipient atteint une valeur maximale (20), cet écoulement s'ar­rêtant lorsque le niveau (h) est descendu à une valeur minimale (22).
Application au dépôt d'une couche de silicium polycristallin sur un ruban de carbone.
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