发明授权
- 专利标题： Process for removing contaminant from holes
- 专利标题（中）： 从孔中去除污染物的方法
-
申请号： EP87103635.6申请日： 1987-03-13
-
公开(公告)号： EP0241718B1公开(公告)日： 1992-05-20
- 发明人: Egitto, Frank Daniel , Emmi, Francis , Mlynko, Walter Eugene , Susko, Robin Anne
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Oechssler, Dietrich (DE)
- 优先权： US849247 19860408
- 主分类号： H05K3/42
- IPC分类号： H05K3/42
公开/授权文献
- EP0241718A3 Process for removing contaminant from holes 公开/授权日：1989-10-18
信息查询
