发明公开
- 专利标题: Steuerbares Leistungs-Halbleiterbauelement
- 专利标题(英): Controllable power semiconductor device
- 专利标题(中): 可控功率半导体组件。
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申请号: EP87119302.5申请日: 1987-12-29
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公开(公告)号: EP0283588A2公开(公告)日: 1988-09-28
- 发明人: Jaecklin, André, Dr. , Roggwiller, Peter, Dr. , Veitz, Rudolf , Vlasak, Thomas
- 申请人: BBC Brown Boveri AG
- 申请人地址: Haselstrasse CH-5401 Baden CH
- 专利权人: BBC Brown Boveri AG
- 当前专利权人: BBC Brown Boveri AG
- 当前专利权人地址: Haselstrasse CH-5401 Baden CH
- 优先权: CH691/87 19870224
- 主分类号: H01L29/60
- IPC分类号: H01L29/60 ; H01L29/10 ; H01L29/74 ; H01L29/36
摘要:
Bei einem steuerbaren Leistungs-Halbleiterbauelement, welches aus einer Mehrzahl nebeneinander angeordneter, parallelgeschalteter Einzelelemente besteht, deren Steuerkontakte mit einem gemeinsamen Steueranschluss in Verbindung stehen, werden unterschiedliche Leitungswiderstände zwischen Steueranschluss und Steuerkontakten kompensiert, um eine gleichmässige Belastung aller Einzelelemente zu erreichen.
Bevorzugt wird bei einem GTO-Thyristor die Kompensation über eine Einstellung des Gategraben-Widerstands (RG) in der p-Basis (3) zwischen Gatekontakt (5) und n-Emitter (2) erreicht. Zu diesem Zweck kann man den elektrisch wirksamen Gateabstand (X g ) beispielsweise durch eine genügend dicke Isolationsschicht (6) oder eine entsprechende Metallisierungs-Atzmaske verändern - Die p-Basis (3) kann auch unterschiedlich dick ausgebildet werden oder ein unterschiedliches Dotierungsprofil mittels stärker dotierter Zusatzschichten (7) aufweisen.
Bevorzugt wird bei einem GTO-Thyristor die Kompensation über eine Einstellung des Gategraben-Widerstands (RG) in der p-Basis (3) zwischen Gatekontakt (5) und n-Emitter (2) erreicht. Zu diesem Zweck kann man den elektrisch wirksamen Gateabstand (X g ) beispielsweise durch eine genügend dicke Isolationsschicht (6) oder eine entsprechende Metallisierungs-Atzmaske verändern - Die p-Basis (3) kann auch unterschiedlich dick ausgebildet werden oder ein unterschiedliches Dotierungsprofil mittels stärker dotierter Zusatzschichten (7) aufweisen.
公开/授权文献
- EP0283588B1 Steuerbares Leistungs-Halbleiterbauelement 公开/授权日:1993-10-06
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