发明公开
- 专利标题： Organometallhaltige Polymere und deren Verwendung
- 专利标题（英）： Organometal-containing polymers and their use
- 专利标题（中）： 含有机聚合物及其用途
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申请号： EP88810579.8申请日： 1988-08-23
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公开(公告)号： EP0307353A3公开(公告)日： 1990-09-12
- 发明人: Steinmann, Alfred, Dr.
- 申请人： CIBA-GEIGY AG
- 申请人地址： Klybeckstrasse 141 4002 Basel CH
- 专利权人： CIBA-GEIGY AG
- 当前专利权人： CIBA-GEIGY AG
- 当前专利权人地址： Klybeckstrasse 141 4002 Basel CH
- 优先权： CH3426/87 19870907
- 主分类号： C08F30/04
- IPC分类号： C08F30/04 ; C08F8/42 ; G03F7/10
摘要：
Organometallhaltige Polymere mit Seitenketten der Formel I
worin zum Beispiel M Si, X O, R¹ und R² Wasserstoff und R⁴ bis R⁶ je Methyl bedeuten und ein mittleres Molekulargewicht zwischen 1000 und 1'000'000 aufweisen, eignen sich zur Herstellung von trockenentwickelbaren Photoresists, wie sie bei der Erzeugung von strukturierten Bildern, insbesondere in der Mikroelektronik, benötigt werden.
worin zum Beispiel M Si, X O, R¹ und R² Wasserstoff und R⁴ bis R⁶ je Methyl bedeuten und ein mittleres Molekulargewicht zwischen 1000 und 1'000'000 aufweisen, eignen sich zur Herstellung von trockenentwickelbaren Photoresists, wie sie bei der Erzeugung von strukturierten Bildern, insbesondere in der Mikroelektronik, benötigt werden.
公开/授权文献
- EP0307353A2 Organometallhaltige Polymere und deren Verwendung 公开/授权日：1989-03-15
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