发明授权
- 专利标题： Procédé d'analyse d'un échantillon par érosion au moyen d'un faisceau de particules, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé
- 专利标题（英）： Method for analysing a sample by etching with a beam of particles, and apparatus therefor
- 专利标题（中）： 通过用颗粒束蚀刻样品来分析样品的方法及其装置
-
申请号： EP88402279.9申请日： 1988-09-09
-
公开(公告)号： EP0308304B1公开(公告)日： 1991-08-07
- 发明人: Vandervorst, Wielfried , Rasser, Bernard , de Bisschop, Peter
- 申请人： CAMECA , IMEC Inter Universitair Micro-Electronica Centrum
- 申请人地址： 103, Boulevard Saint-Denis F-92400 Courbevoie FR
- 专利权人： CAMECA,IMEC Inter Universitair Micro-Electronica Centrum
- 当前专利权人： CAMECA,IMEC Inter Universitair Micro-Electronica Centrum
- 当前专利权人地址： 103, Boulevard Saint-Denis F-92400 Courbevoie FR
- 代理机构： Sciaux, Edmond
- 优先权： FR8712598 19870911
- 主分类号： H01J49/16
- IPC分类号： H01J49/16 ; H01J37/256 ; G01N23/225
公开/授权文献
信息查询
