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    Spectromètre de masse stigmatique à haute transmission
    1.
    发明公开
    Spectromètre de masse stigmatique à haute transmission 失效
    Stigmatisches Massenspektrometer mit hoher传输。

    公开(公告)号：EP0473488A2

    公开(公告)日：1992-03-04

    申请号：EP91402222.3

    申请日：1991-08-09

    申请人： CAMECA

    发明人： Chambost de, Emmanuel ,  Rasser, Bernard

    IPC分类号： H01J49/06

    CPC分类号： H01J49/06 ,  H01J49/32

    摘要： Le spectromètre de masse selon l'invention comporte disposé entre une fente d'entrée (W 1y , W 1z ) et une fente de sortie (W 4y , W 4z ) traversées par des particules émises par un échantillon, un système optique de couplage (1) placé entre deux secteurs électrostatique (2) et magnétique (3). Son système optique de couplage comprend au moins deux lentllles (L y ) et (L z ) à fente orientées respectivement selon une première direction (Y) suivant laquelle la trajectoire des ions est incurvée par les secteurs électrostatique (2) et magnétique (3) et selon une direction perpendiculaire (Z) au plan de la trajectoire. Les positions des deux lentilles (L y ) et (L z ) sur l'axe optique du spectromètre sont déterminées pour obtenir une compensation des dispersions chromatiques sur tout l'axe en aval du spectromètre, une image stigmatique de la fente d'entrée dans le plan de sortie du spectromètre et une image stigmatique en aval du spectromètre de la fente d'entrée, d'un plan non conjugué avec la fente d'entrée, dans un plan distinct du plan de sortie.
    Application : spectromètre de masse stigmatique à haute transmission.

    摘要翻译： 根据本发明的质谱仪包括布置在通过两个通过样品发射的颗粒的入口狭缝（W1y，W1z）和出口狭缝（W4y，W4z）之间的光耦合系统（1），放置在两个扇区 ，静电（2）和磁性（3）。 其光学耦合系统包括至少两个具有狭缝的透镜（Ly）和（Lz），它们分别沿着第一方向（Y）定向，离子的轨迹沿着第一方向由静电（2）和磁性（3）弯曲， 扇区和垂直于轨迹平面的方向（Z）。 确定在光谱仪的光轴上的两个透镜（Ly）和（Lz）的位置，以便获得在光谱仪下游整个轴上的色散的补偿，在出口处的入口狭缝的耻辱图像 在与出射平面不同的平面中，与入射狭缝不共轭的平面的入射狭缝的光谱仪的光谱仪下游的眩晕图像。 ... 应用：高透射ig质谱仪。 ... ...

    Procédé d'analyse en temps de vol, à balayage continu, et dispositif d'analyse pour la mise en oeuvre de ce procédé
    3.
    发明公开
    Procédé d'analyse en temps de vol, à balayage continu, et dispositif d'analyse pour la mise en oeuvre de ce procédé 失效
    一种用于飞行时间与连续扫描和Analysierungsvorrichtung用于执行所述方法的分析过程。

    公开(公告)号：EP0320354A1

    公开(公告)日：1989-06-14

    申请号：EP88403067.7

    申请日：1988-12-05

    申请人： CAMECA

    发明人： Migeon, Henri ,  Rasser, Bernard

    IPC分类号： H01J49/40 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252

    CPC分类号： H01J37/252 ,  H01J49/40

    摘要： L'invention concerne un procédé d'analyse en temps de vol, consis­tant à :
    - balayer d'une manière continue la surface d'un échantillon solide (3), par un faisceau de particules primaires (1) pour arracher à l'échantillon (3) des particules secondaires (4), et les ioniser ;
    - constituer un faisceau de particules secondaires (4) et lui faire parcourir un chemin suffisamment long pour que des particules secondaires ayant des énergies différentes et/ou des masses différentes aient des temps de vol sensiblement différents ;
    - discriminer ensuite les particules secondaires (4) en les déviant selon un angle variable périodiquement en fonction du temps, avec la même période que celle du balayage par le faisceau de particules primaires (1) mais avec un déphasage fixé tel que les particules secondaires (4) ayant un temps de vol donné soient déviées dans une direction prédéterminée (oz), quel que soit le point de l'échantillon (3) où elles ont été arrachées ;
    - sélectionner les particules secondaires (4) se déplaçant dans la direction prédéterminée (oz).
    Application aux appareils d'analyse.

    摘要翻译： 本发明涉及飞行分析处理的时间在由：... - 持续地与初级颗粒（1）的光束，以便从所述样品（4）剥离二次粒子扫描的固体样品（3）的表面（3） 和电离它们; ... - 构建二次粒子（4）的光束并使其穿过一个路径足够长的用于具有不同能量和/或不同质量的次级颗粒具有的飞行基本上不同的时间; ... - 然后识别二次粒子 （4）通过偏转它们角度，能周期性地变化作为时间的函数，用相同的周期由一次粒子的光束做了扫描（1），但检查固定相移做的二次粒子（4 ），其具有的飞行给定的时间在规定方向（盎司偏转），从样品的任意点（3）剥离theywere; ... - 选择二次粒子（4）在预定方向（盎司）移动。 ... 应用到分析仪器。 ... ...

    Cale magnétique active pour la correction des aberrations dans un spectromètre de masse
    6.
    发明公开
    Cale magnétique active pour la correction des aberrations dans un spectromètre de masse 失效
    Magnetischer Keil zur aktiven Aberrotionskorrektur in einem Massenspektrometer

    公开(公告)号：EP0692812A1

    公开(公告)日：1996-01-17

    申请号：EP95401605.1

    申请日：1995-07-04

    申请人： CAMECA

    发明人： de Chambost, Emmanuel ,  Rasser, Bernard

    IPC分类号： H01J49/30 ,  H01J49/32

    CPC分类号： H01J49/32 ,  H01J49/30

    摘要： La cale magnétique active selon l'invention est destinée à la correction des aberrations dans un spectromètre de masse comportant un dispositif de déviation de particules électriquement chargées formé par un aimant (1) à entrefer (2). Elle est formée par un ensemble de noyaux magnétiques (N 1a ...N 4b ) disposés à au moins une extrémité de l'aimant de part et d'autre de l'entrefer (2) pour moduler le champ magnétique de l'aimant. Chaque noyau magnétique est excité par un conducteur (B₁ ...B₄) parcouru par un courant d'intensité déterminée pour que les champs magnétiques produits annulent les aberrations du spectromètre à la sortie de l'aimant (1).
    Application : spectromètre de masse à simple ou double focalisation.

    摘要翻译： 像差校正支柱涉及包括磁体（1）并放置在质谱仪磁体末端的磁偏差部分。 磁性部分具有上部和下部，允许充电颗粒沿着中心通过。 磁芯在顶部和底部（N-4a，N-4b）和较小的中间部分（N-3a，N-3b，N-2a，N-2b）具有两个大的外部部分。 每个铁心部分都有一个电绕组（B1，B2，B3）。 中央微处理器通过数模转换器为每个绕组提供单独的补偿电流，以产生消除光谱仪像差所需的磁场。

    Procédé et dispositif pour la décharge d'échantillons isolants lors d'une analyse ionique
    9.
    发明公开
    Procédé et dispositif pour la décharge d'échantillons isolants lors d'une analyse ionique 失效
    方法和装置用于非导电样品的离子束分析过程中排出。

    公开(公告)号：EP0254625A1

    公开(公告)日：1988-01-27

    申请号：EP87401592.8

    申请日：1987-07-07

    申请人： CAMECA

    发明人： Slodzian, Georges

    IPC分类号： H01J37/252 ,  H01J37/02 ,  G01N23/225

    CPC分类号： H01J37/026

    摘要： Pour la compensation des charges créées lors du bombardement d'un échantillon isolant polarisé positivement par un faisceau d'ions primaires positifs, le procédé consiste à utiliser les électrons secondaires émis par l'électrode d'accélération (E) sous l'impact de particules émises par l'échantillon qui ne sont pas passées par le trou prévu dans cette électrode pour l'analyse. Pour cela une électrode supplémentaire (Eʹ) percée d'un trou de diamètre supérieur à celui de l'électrode d'accélération et portée à un potentiel supérieur d'une centaine de volts à celui de cette même électrode, est placée entre l'échantillon et cette électrode, au voisinage de cette dernière, pour focaliser les électrons secondaires sur le champ image de l'échantillon.
    Application à l'analyse d'échantillons isolants.