发明授权
- 专利标题： Semiconductor device
- 专利标题（中）： 半导体设备
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申请号： EP89119349.2申请日： 1989-10-18
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公开(公告)号： EP0364987B1公开(公告)日： 1996-05-22
- 发明人: Tanoue, Tomonori , Mizuta, Hiroshi , Takahashi, Susumu
- 申请人： HITACHI, LTD.
- 申请人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 专利权人： HITACHI, LTD.
- 当前专利权人： HITACHI, LTD.
- 当前专利权人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 代理机构： Strehl Schübel-Hopf Groening & Partner
- 优先权： JP263892/88 19881021; JP1390/89 19890110
- 主分类号： G11C11/56
- IPC分类号： G11C11/56 ; G06G7/60 ; G06E3/00 ; G02F3/02
公开/授权文献
- EP0364987A3 Semiconductor device 公开/授权日：1991-09-25
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