发明公开
- 专利标题： SEMICONDUCTEUR THIN-FILM PRESSURE SENSOR AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
- 专利标题（中）： 半导体薄膜压力传感器及其制造方法
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申请号： EP88904621申请日： 1988-05-23
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公开(公告)号： EP0380661A4公开(公告)日： 1991-08-14
- 发明人: KAMACHI, MAKOTO , TAJIKA, JUN , TABATA, AKI , SUZUKI, NORITAKE , INAGAKI, HIROSHI
- 申请人： KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO
- 专利权人： KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO
- 当前专利权人： KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO
- 优先权： JP6249688 1988-03-15; JP25445987 1987-10-07; JP25446187 1987-10-07; JP27259087 1987-10-28
- 主分类号： G01L9/00
- IPC分类号： G01L9/00 ; H01L29/84
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