发明公开
EP0388813A2 Pattern forming material and process for forming pattern using the same
失效
Bildaufzeichnungsmaterial und Bildaufzeichnungsverfahren damit。
- 专利标题： Pattern forming material and process for forming pattern using the same
- 专利标题（中）： Bildaufzeichnungsmaterial und Bildaufzeichnungsverfahren damit。
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申请号： EP90105012.0申请日： 1990-03-16
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公开(公告)号： EP0388813A2公开(公告)日： 1990-09-26
- 发明人: Ueno, Takumi , Shiraishi, Hiroshi , Hayashi, Nobuaki , Fukuma, Emiko (née Aoki) , Tadano, Keiko
- 申请人： HITACHI, LTD. , Hitachi Chemical Co., Ltd.
- 申请人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 专利权人： HITACHI, LTD.,Hitachi Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： HITACHI, LTD.,Hitachi Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 代理机构： Strehl Schübel-Hopf Groening & Partner
- 优先权： JP66281/89 19890320
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004
摘要：
A pattern can be formed on a substrated using a pattern forming material comprising (a) a medium, e.g. a polymer or compound, having reactivity for changing solubility in an alkali aqueous solution by a reaction using an acid as a catalyst, and (b) as an acid precursor an alkylsulfonic acid ester obtained from a compound having at least two phenolic hydroxyl groups.
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