发明授权
- 专利标题： Vorrichtung zum Transportieren und Positionieren von scheibenförmigen Werkstücken, insbesondere Halbleiterscheiben, und Verfahren zur nasschemischen Oberflächenbehandlung derselben
- 专利标题（英）： Device for transporting and positioning of disk-shaped work pieces, especially semiconductor wafers, and method for their wet chemical surface treatment
- 专利标题（中）： 用于运输和定位盘形工作片的设备，特别是半导体波形及其湿法化学表面处理方法
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申请号： EP90113307.4申请日： 1990-07-12
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公开(公告)号： EP0408021B1公开(公告)日： 1993-10-06
- 发明人: Müller, Alois , Wimmer, Erich , Seidl, Helmut , Eigner, Laszlo
- 申请人： Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH
- 申请人地址： Johannes-Hess-Strasse 24 D-84489 Burghausen DE
- 专利权人： Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH
- 当前专利权人： Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH
- 当前专利权人地址： Johannes-Hess-Strasse 24 D-84489 Burghausen DE
- 优先权： DE3923405 19890714
- 主分类号： B65G53/02
- IPC分类号： B65G53/02 ; B65G51/00
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