发明公开
EP0458863A1 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING INTERCONNECTS WITH FINE LINES AND SPACING 失效
方法和设备的精细导体上小间隔的生产。

  • 专利标题: METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING INTERCONNECTS WITH FINE LINES AND SPACING
  • 专利标题(中): 方法和设备的精细导体上小间隔的生产。
  • 申请号: EP90903489.0
    申请日: 1990-02-14
  • 公开(公告)号: EP0458863A1
    公开(公告)日: 1991-12-04
  • 发明人: KADIJA, Igor V.
  • 申请人: KADIJA, Igor V.
  • 申请人地址: 118 Sherwood Road Ridgewood, NJ 07450 US
  • 专利权人: KADIJA, Igor V.
  • 当前专利权人: KADIJA, Igor V.
  • 当前专利权人地址: 118 Sherwood Road Ridgewood, NJ 07450 US
  • 代理机构: VOSSIUS & PARTNER
  • 优先权: US19890311212 19890215
  • 国际公布: WO1990009469 19900823
  • 主分类号: C25D5
  • IPC分类号: C25D5 C25D17 C25F7 H05K3
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING INTERCONNECTS WITH FINE LINES AND SPACING
摘要:
Des fils ou fibres métalliques ou non métalliques (5), dont le diamètre est relativement petit, sont fixés à une âme cylindrique creuse (3). L'âme est pourvue d'espaces ayant la forme de trous pour le transfert d'électrolyte, qui passe depuis la partie interne creuse du cylindre, le long des fibres, vers le substrat de cuivre se trouvant sur un substrat à motif (1). On utilise des sources électriques ou non électriques. Les fils sont connectés électriquement par le biais du cylindre métallique avec le pôle positif (anode) de la source de puissance en courant continu. Les fibres non conductrices sont en contact direct avec le métal à grave. Dans le dispositif électrique, à l'intérieur du cylindre creux mais sans le toucher, se trouve un cuivre troué ou à mailles, qui est connecté électriquement au pôle négatif (cathode) de l'alimentation de puissance en courant continu. On forme ensuite une cellule entre le stratifié de cuivre et le cuivre troué se trouvant à l'intérieur du cylindre.
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