发明授权
- 专利标题： Crystal diameter measuring device
- 专利标题（中）： 晶体直径测量装置
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申请号： EP91112379.2申请日： 1991-07-24
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公开(公告)号： EP0472907B1公开(公告)日： 1995-09-20
- 发明人: Baba, Masahiko , Ibe, Hiroyuki
- 申请人： SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
- 申请人地址： 4-2, Marunouchi 1-Chome Chiyoda-ku Tokyo JP
- 专利权人： SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
- 当前专利权人： SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED
- 当前专利权人地址： 4-2, Marunouchi 1-Chome Chiyoda-ku Tokyo JP
- 代理机构： Rau, Manfred, Dr. Dipl.-Ing.
- 优先权： JP199674/90 19900728
- 主分类号： G01B11/10
- IPC分类号： G01B11/10 ; C30B15/26
公开/授权文献
- EP0472907A3 Crystal diameter measuring device 公开/授权日：1993-01-20
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