发明公开
- 专利标题: SOG WITH MOISTURE RESISTANT PROTECTIVE CAPPING LAYER
- 专利标题(中): 用水分被覆保护涂层SOG。
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申请号: EP91909904.0申请日: 1991-05-28
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公开(公告)号: EP0532543A1公开(公告)日: 1993-03-24
- 发明人: OUELLET, Luc
- 申请人: MITEL CORPORATION
- 申请人地址: 350 Legget Drive, P.O. Box 13089 Kanata Ontario K2K 1X3 CA
- 专利权人: MITEL CORPORATION
- 当前专利权人: MITEL CORPORATION
- 当前专利权人地址: 350 Legget Drive, P.O. Box 13089 Kanata Ontario K2K 1X3 CA
- 代理机构: Copp, David Christopher
- 优先权: CA19902017720 19900529
- 国际公布: WO1991019317 19911212
- 主分类号: C04B41
- IPC分类号: C04B41 ; C23C14 ; H01L21 ; H01L23
摘要:
L'invention a pour objet un procédé d'application de verre liquide sur un substrat constitué par des matières non réfractaires, à point de fusion bas, comme l'aluminium (1a, 1b). Selon le procédé, on soumet une couche de verre liquide (4) à la séparation et au dégazage de l'eau et des sous-produits réactionnels et on la recouvre d'une couche de protection diélectrique résistant à la diffusion de l'humidité (5).
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