发明公开
EP0532543A1 SOG WITH MOISTURE RESISTANT PROTECTIVE CAPPING LAYER 失效
用水分被覆保护涂层SOG。

  • 专利标题: SOG WITH MOISTURE RESISTANT PROTECTIVE CAPPING LAYER
  • 专利标题(中): 用水分被覆保护涂层SOG。
  • 申请号: EP91909904.0
    申请日: 1991-05-28
  • 公开(公告)号: EP0532543A1
    公开(公告)日: 1993-03-24
  • 发明人: OUELLET, Luc
  • 申请人: MITEL CORPORATION
  • 申请人地址: 350 Legget Drive, P.O. Box 13089 Kanata Ontario K2K 1X3 CA
  • 专利权人: MITEL CORPORATION
  • 当前专利权人: MITEL CORPORATION
  • 当前专利权人地址: 350 Legget Drive, P.O. Box 13089 Kanata Ontario K2K 1X3 CA
  • 代理机构: Copp, David Christopher
  • 优先权: CA19902017720 19900529
  • 国际公布: WO1991019317 19911212
  • 主分类号: C04B41
  • IPC分类号: C04B41 C23C14 H01L21 H01L23
SOG WITH MOISTURE RESISTANT PROTECTIVE CAPPING LAYER
摘要:
L'invention a pour objet un procédé d'application de verre liquide sur un substrat constitué par des matières non réfractaires, à point de fusion bas, comme l'aluminium (1a, 1b). Selon le procédé, on soumet une couche de verre liquide (4) à la séparation et au dégazage de l'eau et des sous-produits réactionnels et on la recouvre d'une couche de protection diélectrique résistant à la diffusion de l'humidité (5).
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