发明授权
EP0545064B1 Verfahren zur Filterung elektrisch geladener Teilchen, Energiefilter und Analysator mit einem solchen Energiefilter
失效
过程用于与这样的能量过滤器过滤电气带电粒子，能量过滤器和分析器
- 专利标题： Verfahren zur Filterung elektrisch geladener Teilchen, Energiefilter und Analysator mit einem solchen Energiefilter
- 专利标题（英）： Device for filtering charged particles, energy filter and analyser using such an energy filter
- 专利标题（中）： 过程用于与这样的能量过滤器过滤电气带电粒子，能量过滤器和分析器
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申请号： EP92118282.0申请日： 1992-10-26
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公开(公告)号： EP0545064B1公开(公告)日： 2001-08-08
- 发明人: Rettinghaus, Gerhard, Dr. Phys.
- 申请人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
- 申请人地址： 9496 Balzers LI
- 专利权人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： 9496 Balzers LI
- 代理机构： Troesch Scheidegger Werner AG
- 优先权： CH353691 19911202
- 主分类号： H01J49/48
- IPC分类号： H01J49/48 ; H01J49/14 ; H01J27/20
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