发明授权
- 专利标题： Anode bonding methods
- 专利标题（中）： 阳极Verbindungsverfahren
-
申请号： EP93117100.3申请日： 1993-10-21
-
公开(公告)号： EP0594182B1公开(公告)日： 2002-07-31
- 发明人: Akaike, Masatake, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Yagi, Takayuki, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Fushimi, Masahiro, c/o Canon Kabushiki Kaisha
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 代理机构： Pellmann, Hans-Bernd, Dipl.-Ing.
- 优先权： JP28434192 19921022
- 主分类号： H01L21/20
- IPC分类号： H01L21/20 ; G01P15/12
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
