Sensor for detecting acceleration and angular velocity
    5.
    发明授权
    Sensor for detecting acceleration and angular velocity 有权
    用于检测加速度和角速度的传感器

    公开(公告)号:EP1953499B1

    公开(公告)日:2017-09-20

    申请号:EP08001145.5

    申请日:2008-01-22

    申请人: WACOH CORPORATION

    发明人: Okada, Kazuhiro

    摘要: Static and dynamic acceleration as well as static and dynamic angular velocity are detected with a simple structure. An acceleration detecting section (100) includes a weight body (110), a pedestal (130) around the weight body (110), flexible plate-like bridge portions (121-124), and piezoresistive elements (P) embedded in the upper surface of the bridge portions (121-124). An angular velocity detecting section (200) includes a weight body (210), a pedestal (230) around the weight body (210), flexible plate-like bridge portions (221-224), and piezoelectric elements (D, E) fixed to the upper surface of the bridge portions (221-224). The pedestals (130, 230) are fixed to a device chassis (400). When the weight body (110) is displaced by acceleration, the plate-like bridge portions (121-124) are deflected, so that the acceleration is detected based on the change in the electrical resistances of the piezoresistive elements (P). When the weight body (210) is displaced by a Coriolis force based on angular velocity while supplying alternating signals to the piezoelectric elements (E) to oscillate the weight body (210), the plate-like bridge portions (221-224) are deflected, so that the angular velocity is detected based on charge generation in the piezoelectric elements (D).

    摘要翻译: 以简单的结构检测静态和动态加速度以及静态和动态角速度。 加速度检测部(100)包括重量体(110),重量体(110)周围的基座(130),柔性板状桥接部分(121-124)以及嵌入上部的压阻元件(P) 桥部分(121-124)的表面。 角速度检测部(200)包括重量体(210),重量体(210)的周围的台座(230),挠性板状桥接部(221-224)和固定的压电元件(D,E) 到桥部分(221-224)的上表面。 底座(130,230)被固定到设备底盘(400)。 当通过加速度使重量体110位移时,板状桥梁部分121-124被偏转,从而基于压电电阻元件P的电阻的变化来检测加速度。 当向压电元件(E)提供交变信号以使重量体(210)振动时,当重量体(210)由基于角速度的科里奥利力移动时,板状桥梁部分(221-224)偏转 ,从而基于压电元件(D)中的电荷产生来检测角速度。

    MEMS ACCELEROMETER
    6.
    发明授权
    MEMS ACCELEROMETER 有权
    MEMS-BESCHLEUNIGUNGSSENSOR

    公开(公告)号:EP2975412B1

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:EP15170390.7

    申请日:2015-06-03

    发明人: KWA, Tom

    IPC分类号: G01P15/12 G01P15/08

    摘要: A MEMS acceleration sensor comprising: a frame, a plurality of proofmasses; a plurality of flexures; a plurality of hinges and a plurality of gauges. The frame, proofmasses, flexures, hinges and gauges designed to measure acceleration in a direction perpendicular to the device plane while being generally resistant to motions parallel to the device plane. The measurement of the acceleration is accomplished through the piezoresistive effect of the strain in the gauges.

    摘要翻译: 一种MEMS加速度传感器,包括:框架,多个校样物; 多个弯曲; 多个铰链和多个量规。 设计用于测量垂直于设备平面的方向上的加速度的框架,校对,弯曲,铰链和量规,同时通常抵抗平行于设备平面的运动。 加速度的测量通过压力计在压力表中的压阻效应来实现。

    AMPLIFIER CIRCUIT AND AMPLIFIER-CIRCUIT CHIP
    9.
    发明公开
    AMPLIFIER CIRCUIT AND AMPLIFIER-CIRCUIT CHIP 有权
    VERSTÄRKERSCHALTUNGUNDVERSTÄRKERSCHALTUNGSCHIP

    公开(公告)号:EP3012971A1

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:EP14814595.6

    申请日:2014-06-17

    IPC分类号: H03F3/34 G01P3/44 G01P15/12

    摘要: The present disclosure is related to an amplifier circuit in which noise components are reduced to achieve a high SN ratio, a low noise, and a small area, and an amplifier circuit IC chip. An amplifier circuit (100) includes a converter (70) configured to convert a predefined physical quantity to a resistance value, and the resistance value converted by the converter (70) is converted to a voltage value and then amplified. The converter (70) includes variable resistance sensors (71, 72) of piezoresistance elements. A bias unit (80) is configured to determine a bias current of the converter (70), and includes bias resistances (81, 82). An operation amplifier unit (90) receives, as input signals, output signals from the bias unit (80) and the converter (70), and includes feedback resistances (91, 92) respectively connected to input and output ends of a first operational amplifier (101). The first operational amplifier (101) is a whole differential operational amplifier including a common-mode feedback circuit.

    摘要翻译: 本公开涉及其中降低噪声分量以实现高SN比,低噪声和小面积的放大器电路以及放大器电路IC芯片。 放大器电路(100)包括被配置为将预定义的物理量转换为电阻值的转换器(70),并且由转换器(70)转换的电阻值被转换为电压值,然后被放大。 转换器(70)包括压阻元件的可变电阻传感器(71,72)。 偏置单元(80)被配置为确定转换器(70)的偏置电流,并且包括偏置电阻(81,82)。 操作放大器单元(90)接收来自偏置单元(80)和转换器(70)的输出信号作为输入信号,并且包括反馈电阻(91,92),分别连接到第一运算放大器 (101)。 第一运算放大器(101)是包括共模反馈电路的整体差分运算放大器。

    Procédé de mesure d'un paramètre physique, et circuit électronique pour sa mise en oeuvre
    10.
    发明公开
    Procédé de mesure d'un paramètre physique, et circuit électronique pour sa mise en oeuvre 有权
    其实施用于测量物理参数的方法,和电子电路

    公开(公告)号:EP2966454A1

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:EP14175967.0

    申请日:2014-07-07

    摘要: Le procédé de mesure d'un paramètre physique est effectué avec un circuit électronique (1) à capteur résistif (2). Le capteur résistif comprend deux résistances (R1, R2) montées en série, dont un noeud de connexion lié à une masse mobile (M), est relié à une première entrée d'un amplificateur-comparateur (3). Une seconde entrée de l'amplificateur-comparateur reçoit une tension de référence. Une sortie de l'amplificateur-comparateur est reliée à une unité logique (4), qui fournit un signal numérique de sortie (OUT). Un convertisseur numérique-analogique (5) fournit une tension de mesure (V dac ), en fonction d'un signal numérique fourni par l'unité logique, à la première résistance (R1) dans une première phase d'un cycle de mesure, alors que la seconde résistance (R2) est polarisée par une tension de polarisation, et à la seconde résistance dans une seconde phase, alors que la première résistance est polarisée par une tension de polarisation via une unité de commutation.

    摘要翻译: 所述物理参数的测定方法是使用电子电路(1)与电阻式传感器(2)上进行。 所述电阻传感器包括两个电阻器(R1,R2)串联安装,其连接节点连接到一个移动质量(M)连接到一个放大器 - 比较(3)的第一输入端。 放大器比较器的第二输入端接收参考电压。 放大器比较器的一个输出被连接到一个逻辑单元(4),它提供一个数字输出信号(OUT)。 一种数字 - 模拟转换器(5)提供的测量电压(VDAC),如由逻辑单元在测量循环的第一阶段提供给第一电阻器(R1)的数字信号的功能,而第二 电阻器(R2)由极化电压极化,并且在第二阶段的第二电阻器,而所述第一电阻器是由极化电压经由开关单元极化。