发明授权
- 专利标题： Method of forming micropatterns with heat resistance
- 专利标题（中）： 一种用于制造耐热微图像处理
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申请号： EP93117627.5申请日： 1993-10-29
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公开(公告)号： EP0595361B1公开(公告)日： 1999-03-10
- 发明人: Katsuyama, Akiko , Endo, Masayuki , Sasago, Masaru , Urano, Fumiyoshi , Fujie, Hirotoshi
- 申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. , WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD
- 申请人地址： 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka-fu, 571 JP
- 专利权人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.,WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD
- 当前专利权人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.,WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD
- 当前专利权人地址： 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka-fu, 571 JP
- 代理机构： Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät
- 优先权： JP292453/92 19921030
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/039
公开/授权文献
- EP0595361A3 Method of forming micropatterns 公开/授权日：1997-04-02
信息查询
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