发明授权
- 专利标题: PLANAR GALVANOMIRROR AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
- 专利标题(中): 平面检流计及其制造方法
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申请号: EP95902924.0申请日: 1994-12-08
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公开(公告)号: EP0686863B1公开(公告)日: 2003-03-12
- 发明人: ESASHI, Masayoshi , ASADA, Norihiro, Yono Office The Nippon
- 申请人: THE NIPPON SIGNAL CO. LTD. , ESASHI, Masayoshi
- 申请人地址: 3-1, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 100 JP
- 专利权人: THE NIPPON SIGNAL CO. LTD.,ESASHI, Masayoshi
- 当前专利权人: THE NIPPON SIGNAL CO. LTD.,ESASHI, Masayoshi
- 当前专利权人地址: 3-1, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 100 JP
- 代理机构: Palmer, Roger
- 优先权: JP32052493 19931220
- 国际公布: WO95017698 19950629
- 主分类号: G02B26/10
- IPC分类号: G02B26/10
公开/授权文献
- EP0686863A1 PLANAR GALVANOMIRROR AND PRODUCTION METHOD THEREFOR 公开/授权日:1995-12-13
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