发明公开
- 专利标题： Radiantly heated reactor
- 专利标题（中）： Reaktor mit Strahlungsheizung
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申请号： EP98110339.3申请日： 1991-08-14
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公开(公告)号： EP0872574A2公开(公告)日： 1998-10-21
- 发明人: Anderson, Roger N. , Deacon, Thomas E. , Carlson, David K.
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 US
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 US
- 代理机构： DIEHL GLAESER HILTL & PARTNER
- 优先权： US568393 19900816; US651668 19910206
- 主分类号： C23C16/48
- IPC分类号： C23C16/48 ; H01L21/00
摘要：
A reflector array (25) employing a number of linear, tubular heater lamps (27) arranged in a circle concentric with the substrate (5) to be heated. Some of the lamps (27) have focusing reflectors (31) and the remainder have dispersive reflectors.
公开/授权文献
- EP0872574B1 Radiantly heated reactor 公开/授权日：2002-04-03
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IPC分类:
