发明公开
EP0942261A1 Procédé et dispositif pour la mesure de fonds de cratères dans un analyseur physico-chimique
有权
Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Strukturtiefen einerProbenoberfläche
- 专利标题： Procédé et dispositif pour la mesure de fonds de cratères dans un analyseur physico-chimique
- 专利标题（英）： Procedure and device to measure the bottom of craters in a physico-chemical analyser
- 专利标题（中）： Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Strukturtiefen einerProbenoberfläche
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申请号： EP99400572.6申请日： 1999-03-09
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公开(公告)号： EP0942261A1公开(公告)日： 1999-09-15
- 发明人: Monsallut, Pierre
- 申请人： CAMECA
- 申请人地址： 103, Boulevard Saint-Denis F-92400 Courbevoie FR
- 专利权人： CAMECA
- 当前专利权人： CAMECA
- 当前专利权人地址： 103, Boulevard Saint-Denis F-92400 Courbevoie FR
- 代理机构： Lincot, Georges
- 优先权： FR9803133 19980313
- 主分类号： G01B11/22
- IPC分类号： G01B11/22
摘要：
L'invention concerne un procédé de mesure de fond de cratères en cours de formation sur un échantillon (4) placé à l'intérieur d'une chambre d'analyse d'un analyseur physico-chimique, par interférométrie optique.
Il consiste :
à partager (8) un faisceau laser (6) incident suivant deux bras parallèles, un bras de mesure (1) et un bras de référence (2),
à focaliser à la surface (3) de l'échantillon chacun des deux bras (1, 2), respectivement l'un dans le cratère, l'autre à proximité, suivant une direction incidente inclinée relativement à la surface (3) de l'échantillon (4),
à recombiner (13) les deux faisceaux réfléchis par la surface de l'échantillon pour ne former qu'un seul faisceau,
et à appliquer le faisceau recombiné à un détecteur interférométrique (14) pour mesurer la différence de marche entre les deux faisceaux réfléchis.
Applications : Analyseurs inoniques.
Il consiste :
à partager (8) un faisceau laser (6) incident suivant deux bras parallèles, un bras de mesure (1) et un bras de référence (2),
à focaliser à la surface (3) de l'échantillon chacun des deux bras (1, 2), respectivement l'un dans le cratère, l'autre à proximité, suivant une direction incidente inclinée relativement à la surface (3) de l'échantillon (4),
à recombiner (13) les deux faisceaux réfléchis par la surface de l'échantillon pour ne former qu'un seul faisceau,
et à appliquer le faisceau recombiné à un détecteur interférométrique (14) pour mesurer la différence de marche entre les deux faisceaux réfléchis.
Applications : Analyseurs inoniques.
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