公开(公告)号：EP0942261B1

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：EP99400572.6

申请日：1999-03-09

申请人： CAMECA

发明人： Monsallut, Pierre

IPC分类号： G01B11/22

CPC分类号： G01B11/22

公开(公告)号：EP0942261A1

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：EP99400572.6

申请日：1999-03-09

申请人： CAMECA

发明人： Monsallut, Pierre

IPC分类号： G01B11/22

CPC分类号： G01B11/22

摘要： L'invention concerne un procédé de mesure de fond de cratères en cours de formation sur un échantillon (4) placé à l'intérieur d'une chambre d'analyse d'un analyseur physico-chimique, par interférométrie optique.
Il consiste :

à partager (8) un faisceau laser (6) incident suivant deux bras parallèles, un bras de mesure (1) et un bras de référence (2),
à focaliser à la surface (3) de l'échantillon chacun des deux bras (1, 2), respectivement l'un dans le cratère, l'autre à proximité, suivant une direction incidente inclinée relativement à la surface (3) de l'échantillon (4),
à recombiner (13) les deux faisceaux réfléchis par la surface de l'échantillon pour ne former qu'un seul faisceau,
et à appliquer le faisceau recombiné à un détecteur interférométrique (14) pour mesurer la différence de marche entre les deux faisceaux réfléchis.

Applications : Analyseurs inoniques.

摘要翻译： 该系统使用光学干涉测量，可以在形成火山口的同时进行测量。 用于测量在样品（4）上形成的坑的深度的系统使用光学干涉测量法。 它包括将（8）入射激光束（6）分成两个平行光束，一个是测量光束（1），一个是参考光束（2）。 两个光束中的每一个都被聚焦到样品表面上，一个在火山口中，另一个位于附近，沿着相对于样品表面倾斜的入射方向。 然后将反射光束重新组合以仅形成一个光束。 这被应用于干涉检测器（14）以测量两个反射光束之间的路径差。