发明公开
EP0981160A2 Zuleitungen mit einem definierten Widerstandswert für einen integrierten Halbleiterchip 审中-公开
供应线以限定的电阻值用于集成半导体芯片

  • 专利标题: Zuleitungen mit einem definierten Widerstandswert für einen integrierten Halbleiterchip
  • 专利标题(英): Integrated semiconductor chip with leads having a defined resistance
  • 专利标题(中): 供应线以限定的电阻值用于集成半导体芯片
  • 申请号: EP99115541.7
    申请日: 1999-08-02
  • 公开(公告)号: EP0981160A2
    公开(公告)日: 2000-02-23
  • 发明人: Buck, Martin
  • 申请人: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
  • 申请人地址: Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
  • 专利权人: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
  • 当前专利权人: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
  • 当前专利权人地址: Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
  • 优先权: DE19836753 19980813
  • 主分类号: H01L23/495
  • IPC分类号: H01L23/495 H01L23/64
Zuleitungen mit einem definierten Widerstandswert für einen integrierten Halbleiterchip
摘要:
An den Zuleitungen (Z) eines integrierten Halbleiterchips, die eine Verbindung zu externen Anschlüssen einer Versorgungsspannung herstellen, können durch hoch getaktete Stromimpulse Potentialschwankungen bis hin zu Resonanzschwingungen an einem internen Anschluß der jeweiligen Zuleitung (Z) angeregt werden. Zur Dämpfung dieser Potentialschwankungen wird für eine oder mehrere Zuleitungen (Z) ein Widerstandswert (R D ) vorgegeben, der groß genug ist, diese Potentialschwankungen zu dämpfen, jedoch klein genug ist, um auf der jeweiligen Zuleitung (Z) nur einen vorgegebenen maximal zulässigen Spannungsabfall zu verursachen. Der jeweilige Widerstand (R D ) kann durch Verwendung eines Materials mit einem entsprechenden spezifischen Widerstand oder durch Verkleinerung des Leiterquerschnitts (q) mit einer Einkerbung (K) entlang der Zuleitung (Z) erzielt werden.
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