发明授权
- 专利标题： VORRICHTUNG ZUM BESTRAHLEN EINES SUBSTRATS MITTELS UV-STRAHLEN UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DER VORRICHTUNG
- 专利标题（英）： DEVICE FOR EXPOSING A SUBSTRATE TO UV RAYS AND METHOD FOR USING THIS DEVICE
- 专利标题（中）： 设备用于照射衬底由紫外线和方法的装置的运行设备
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申请号： EP98916778.8申请日： 1998-05-07
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公开(公告)号： EP0985121B1公开(公告)日： 2003-09-10
- 发明人: Glaus, Bernhard Max
- 申请人： Uviterno AG
- 申请人地址： Musterplatzstrasse 3 9442 Berneck CH
- 专利权人： Uviterno AG
- 当前专利权人： Uviterno AG
- 当前专利权人地址： Musterplatzstrasse 3 9442 Berneck CH
- 代理机构： Stocker, Kurt
- 优先权： CH122597 19970526
- 国际公布： WO98054525 19981203
- 主分类号： F26B3/28
- IPC分类号： F26B3/28
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