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发明授权
VORRICHTUNG ZUM BESTRAHLEN EINES SUBSTRATS MITTELS UV-STRAHLEN UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DER VORRICHTUNG 失效
标题翻译：设备用于照射衬底由紫外线和方法的装置的运行设备

公开(公告)号：EP0985121B1

公开(公告)日：2003-09-10

申请号：EP98916778.8

申请日：1998-05-07

申请人： Uviterno AG

发明人： Glaus, Bernhard Max

IPC分类号： F26B3/28

CPC分类号： F26B3/28