发明授权
- 专利标题： Radiation-sensitive resin composition
- 专利标题（中）： 辐射敏感树脂组合物
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申请号： EP00120000.5申请日： 2000-09-14
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公开(公告)号： EP1085379B1公开(公告)日： 2006-01-04
- 发明人: Douki, Katsuji , Murata, Kiyoshi , Ishii, Hiroyuki , Kajita, Toru , Shimokawa, Tsutomu
- 申请人： JSR Corporation
- 申请人地址： 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku Tokyo 104-0045 JP
- 专利权人： JSR Corporation
- 当前专利权人： JSR Corporation
- 当前专利权人地址： 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku Tokyo 104-0045 JP
- 代理机构： TBK-Patent
- 优先权： JP26411099 19990917; JP29129199 19991013; JP32522299 19991116
- 主分类号： G03F7/039
- IPC分类号： G03F7/039
公开/授权文献
- EP1085379A1 Radiation-sensitive resin composition 公开/授权日：2001-03-21
信息查询
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