发明公开
EP1195880A1 Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements 有权
一种用于相对的定位精度提高到定子可运动地布置元件的方法

  • 专利标题: Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements
  • 专利标题(英): Method of enhancing the positioning accuracy of an element movably arranged relative to a stator
  • 专利标题(中): 一种用于相对的定位精度提高到定子可运动地布置元件的方法
  • 申请号: EP00810916.7
    申请日: 2000-10-04
  • 公开(公告)号: EP1195880A1
    公开(公告)日: 2002-04-10
  • 发明人: Schmid, KunoAusderau, DanielHitz, Marco, Dr.-Ing.Rohner, Ronald, Dr.-Ing.
  • 申请人: NTI AG
  • 申请人地址: Technoparkstrasse 1 8005 Zürich CH
  • 专利权人: NTI AG
  • 当前专利权人: NTI AG
  • 当前专利权人地址: Technoparkstrasse 1 8005 Zürich CH
  • 代理机构: Heinen, Detlef
  • 主分类号: H02K41/03
  • IPC分类号: H02K41/03 G05B19/23 G05B19/25
Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator bewegbar angeordneten Elements
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erhöhung der Positioniergenauigkeit eines relativ zu einem Stator (10) bewegbar angeordneten Elements (13). Im Stator (10) sind mindestens zwei Sensoren (11,12) vorgesehen, ein erster (11) und ein zweiter (12) Sensor, die in Bezug auf die Bewegungsrichtung (P) des bewegbar angeordneten Elements (13) im Stator (10) in einem Abstand (a) voneinander angeordnet sind. Das relativ zum Stator (10) bewegbar angeordnete Element (13) ist mit Gebern (130) versehen, die zusammen mit dem bewegbaren Element (13) mitbewegbar sind und bei einer ausfahrenden Bewegung des Elements (13) relativ zum Stator (10) zuerst in dem ersten Sensor (11) und dann bei fortschreitender Bewegung des Elements in dem zweiten Sensor (12) jeweils ein Sensorsignal (S11,S12) hervorrufen. Zunächst wird in einem Kalibrierlauf das bewegbare Element (13) über den gesamten möglichen Bereich der Bewegung bewegt. Während dieser Bewegung werden die Sensorsignale (S11,S12) des ersten (11) und des zweiten (12) Sensors sowie die zugehörigen Sollpositionen des bewegbaren Elements (13) erfasst. Dann wird der räumliche Abstand (A) ermittelt, der zwei gleich grossen aufeinander folgenden und durch denselben Geber hervorgerufenen Sensorsignalen (S11,S12) des ersten (11) und des zweiten (12) Sensors entspricht. Aus dem so ermittelten räumlichen Abstand (A), dem tatsächlichen Sensorabstand (a) und den zugehörigen Sollpositionen wird dann der Fehler (F) der Sollposition des bewegbaren Elements ermittelt und bei der Positionierung des bewegbaren Elements (13) berücksichtigt.
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