发明公开
EP1238119A4 METHOD AND APPARATUS FOR SMOOTHING THIN CONDUCTIVE FILMS BY GAS CLUSTER ION BEAM
审中-公开
方法和设备，用于平滑金属薄膜BY GASKLUSTERIONENSTRAHLEN
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR SMOOTHING THIN CONDUCTIVE FILMS BY GAS CLUSTER ION BEAM
- 专利标题（中）： 方法和设备，用于平滑金属薄膜BY GASKLUSTERIONENSTRAHLEN
-
申请号： EP00992625申请日： 2000-12-05
-
公开(公告)号： EP1238119A4公开(公告)日： 2010-04-21
- 发明人: SKINNER WESLEY J , KIRKPATRICK ALLEN R
- 申请人： TEL EPION INC
- 专利权人： TEL EPION INC
- 当前专利权人： TEL EPION INC
- 优先权： US16934299 1999-12-06; US72788100 2000-12-01
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32 ; C23C14/22 ; G11B5/39 ; G11B5/84 ; H01F41/30 ; H01J37/305 ; H01L21/321 ; H01L43/08 ; H01L43/12 ; C23C14/34
信息查询
IPC分类:
