发明公开
- 专利标题： METHOD TO ISOLATE MULTI ZONE HEATER FROM ATMOSPHERE
- 专利标题（中）： 方法完成多区域加热器的气氛
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申请号： EP01948659.6申请日： 2001-06-22
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公开(公告)号： EP1299573A2公开(公告)日： 2003-04-09
- 发明人: HO, Henry
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： P.O. Box 450A Santa Clara,California 95052 US
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： P.O. Box 450A Santa Clara,California 95052 US
- 代理机构： Bayliss, Geoffrey Cyril
- 优先权： US611942 20000707
- 国际公布： WO02005321 20020117
- 主分类号： C23C16/46
- IPC分类号： C23C16/46 ; C23C16/458
摘要：
A wafer processing method, comprising processing the wafer in a reaction chamber comprising a heater having an interior volume; heating the reaction chamber with the heater, purging an inert gas into the heater interior volume, and venting the inert gas.
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