发明授权
- 专利标题： Charged particle beam device with dark field detector
- 专利标题（中）： 带暗场探测器的带电粒子束装置
-
申请号： EP04001955.6申请日： 2004-01-29
-
公开(公告)号： EP1450391B1公开(公告)日： 2013-07-03
- 发明人: Tanba, Yuusuke , Sato, Mitsugu , Takahashi, Kaname , Watanabe, Shunya , Nakagawa, Mine , Muto, Atsushi , Morikawa, Akinari
- 申请人： Hitachi High-Technologies Corporation
- 申请人地址： 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku Tokyo 105-8717 JP
- 专利权人： Hitachi High-Technologies Corporation
- 当前专利权人： Hitachi High-Technologies Corporation
- 当前专利权人地址： 24-14, Nishishimbashi 1-chome, Minato-ku Tokyo 105-8717 JP
- 代理机构： Strehl Schübel-Hopf & Partner
- 优先权： JP2003022973 20030131; JP2004001548 20040107
- 主分类号： H01J37/26
- IPC分类号： H01J37/26 ; H01J37/244
公开/授权文献
- EP1450391A3 Charged particle beam device 公开/授权日：2011-03-09
信息查询
