发明授权
- 专利标题： Mems switch and manufacturing method thereof
- 专利标题（中）： MEMS开关及其制造方法
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申请号： EP06253784.0申请日： 2006-07-19
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公开(公告)号： EP1748457B1公开(公告)日： 2010-06-23
- 发明人: Jeong, Hee-moon , Kwon, Sang-wook , Kim, Che-heung , Kim, Jong-seok , Kim, Jun-o, 705-604 Manhyeon-maeul , Hong, Young-tack , Song, In-sang , Lee, Sang-hun
- 申请人： Samsung Electronics Co., Ltd.
- 申请人地址： 416 Maetan-dong, Yeongtong-gu Suwon-si, Gyeonggi-do 442-743 KR
- 专利权人： Samsung Electronics Co., Ltd.
- 当前专利权人： Samsung Electronics Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 416 Maetan-dong, Yeongtong-gu Suwon-si, Gyeonggi-do 442-743 KR
- 代理机构： Ertl, Nicholas Justin
- 优先权： KR20050067333 20050725
- 主分类号： H01H59/00
- IPC分类号： H01H59/00
公开/授权文献
- EP1748457A1 Mems switch and manufacturing method thereof 公开/授权日：2007-01-31
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