发明授权
EP1753011B1 Verfahren zur Erzeugung von Ansteuersignalen für HF-Leistungsgeneratoren
有权
一种用于RF功率发生器生成控制信号的方法
- 专利标题： Verfahren zur Erzeugung von Ansteuersignalen für HF-Leistungsgeneratoren
- 专利标题（英）： Method for providing control signals for high frequency power generators
- 专利标题（中）： 一种用于RF功率发生器生成控制信号的方法
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申请号： EP05017683.3申请日： 2005-08-13
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公开(公告)号： EP1753011B1公开(公告)日： 2012-10-03
- 发明人: Blattner, Manfred , Winterhalter, Markus , Mann, Ekkehard
- 申请人： HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG
- 申请人地址： Bötzinger Strasse 80 79111 Freiburg DE
- 专利权人： HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG
- 当前专利权人： HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG
- 当前专利权人地址： Bötzinger Strasse 80 79111 Freiburg DE
- 代理机构： Schiz, Jochen
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
公开/授权文献
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