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1.发明公开ARCLÖSCHANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSCHEN VON ARCS 审中-公开ARCLÖSCHANORDNUNGUND VERFAHREN ZUMLÖSCHENVON ARCS
公开(公告)号：EP2596517A1
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：EP11726130.5
申请日：2011-06-14
发明人： RICHTER, Ulrich
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32064 , H01J37/32018 , H01J37/32045 , H01J37/32935
摘要： The invention relates to a method for quenching arcs in a gas discharge chamber (5), in which power is fed to a gas discharge chamber (5) and in which, both when there is a flow of current in a first direction and when there is a flow of current in a second, reverse direction, a gas discharge is generated. When an arc is detected, the supply of power to the gas discharge chamber (5) is interrupted and residual energy which is present in a feed line (17, 19) to the gas discharge chamber (5) and/or in the gas discharge chamber (5) is fed to an energy store (30).
摘要翻译： 本发明涉及一种用于在气体放电室（5）中熄灭电弧的方法，其中电力被供应到气体放电室（5），并且其中当电流沿第一方向流动时以及在那里 是第二个相反方向的电流流动，产生气体放电。 当检测到电弧时，中断对气体排出室（5）的供电，并且在供给管线（17,19）中存在于气体排出室（5）和/或气体排出口 腔室（5）被供给到能量存储器（30）。
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2.发明公开
公开(公告)号：EP2511940A2
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：EP12004116.5
申请日：2008-07-22
CPC分类号： G01R21/06 , G01R23/02 , H01J37/32045 , H02M7/003 , H02M7/5383 , H03H7/40 , H05B41/2806 , H05H1/46 , Y02B20/22
摘要： Ein Verfahren zum Betrieb einer Plasmaversorgungseinrichtung mit zumindest einer wenigstens zwei schaltende Elemente (1-4) aufweisenden Schaltbrücke (100, 101), wobei die Plasmaversorgungseinrichtung, ein Hochfrequenzausgangssignal mit einer Leistung > 500W und einer im Wesentlichen konstanten Grundfrequenz > 3MHz an eine Plasmalast (60) liefert, umfasst die Schritte
- Ermitteln zumindest eines Betriebsparameters, zumindest eines Umgebungsparameters von wenigstens einem schaltenden Element und/oder eines Schaltbrückenparameters
- Ermitteln von individuellen Ansteuersignalen für die schaltenden Elemente (1-4) unter Berücksichtigung des zumindest einen Betriebsparameters, des zumindest einen Umgebungsparameters und/oder des Schaltbrückenparameters
- Individuelles Ansteuern der schaltenden Elemente (1-4) mit jeweils einem Ansteuersignal.摘要翻译： 该装置具有用于存储具有AGC信号的一个部分的自动增益控制（AGC）值和用于在具有接收使能的另一部分中产生电压增益控制值（360）的电压增益控制器（360）的寄存器（350） 信号。 电压增益控制值即使在初始帧发送部分中也由前一部分检测到的AGC值产生。 所产生的电压增益控制值被传送到电压增益放大器（320），并使用数/模转换器（370）转换为模拟，并输入到电压增益放大器。 还包括用于控制超宽带接收装置中的电压增益的方法的独立权利要求。
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3.发明授权
公开(公告)号：EP1753011B1
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：EP05017683.3
申请日：2005-08-13
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H03B28/00 , H01J37/32165 , H01J2237/0206
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公开(公告)号：EP1601015B9
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：EP05011633.4
申请日：2005-05-30
发明人： Coleman, Charles
IPC分类号： H01L23/46 , H01L23/473
CPC分类号： H01L23/473 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , H02M7/5387 , H05K7/20927 , H01L2924/00
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公开(公告)号：EP1601015B1
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：EP05011633.4
申请日：2005-05-30
发明人： Coleman, Charles
IPC分类号： H01L23/46 , H01L23/473
CPC分类号： H01L23/473 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , H02M7/5387 , H05K7/20927 , H01L2924/00
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公开(公告)号：EP2097920A1
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：EP07817617.9
申请日：2007-10-04
发明人： KIRCHMEIER, Thomas , WINDISCH, Hans-Jürgen , KNAUS, Hanns-Joachim , GLÜCK, Michael , HINTZ, Gerd
CPC分类号： G01R21/06 , G01R23/02 , H01J37/32045 , H02M7/003 , H02M7/5383 , H03H7/40 , H05B41/2806 , H05H1/46 , Y02B20/22
摘要： The invention relates to a plasma supply device (10, 10') for the generation of a power output > 500 W at a substantially constant base frequency > 3 MHz and for the power supply of a plasma process, to which the power output generated is supplied and from which power reflected is conducted back to the plasma supply device (10, 10') at least in the event of a maladjustment, having at least one inverter (11, 12), which is connected to a DC power supply (13, 14, 13', 14') and has at least one switching element (11.1, 11.2, 12.1, 12.2.), and having an output network (15, 15'), the output network (15, 15') being disposed on a circuit board (38). In this way, the output network (15, 15') can be implemented inexpensively and precisely.
摘要翻译： 该装置具有用于存储具有AGC信号的一个部分的自动增益控制（AGC）值和用于在具有接收使能的另一部分中产生电压增益控制值（360）的电压增益控制器（360）的寄存器（350） 信号。 电压增益控制值即使在初始帧发送部分中也由前一部分检测到的AGC值产生。 所产生的电压增益控制值被传送到电压增益放大器（320），并使用数/模转换器（370）转换为模拟，并输入到电压增益放大器。 还包括用于控制超宽带接收装置中的电压增益的方法的独立权利要求。
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7.发明公开Stromversorgung für einen Mittelfrequenz-Plasmagenerator 审中-公开Stromversorgungfüreinen Mittelfrequenz-Plasmagenerator
公开(公告)号：EP1852959A1
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：EP06009300.2
申请日：2006-05-05
发明人： Richter, Volkhard
CPC分类号： H02M7/5387 , H01J37/32036 , H01J37/32045 , H02M2007/4815 , H05H1/46 , Y02B70/1441
摘要： Bei einem MF-Plasmaleistungsgenerator (1) für einen Plasmaprozess mit einer DC-Stromversorgung (2), einem daran angeschlossenen Inverter (6), der zumindest ein an ein Stromversorgungspotential erster Polarität (11) angeschlossenes schaltendes Element (101, 102) aufweist, und einem Ausgangsnetzwerk (7), ist für jedes schaltende Element (101, 102) eine Entkoppelschaltung zur Entkopplung des schaltenden Elements (101, 102) von einer Spannung des Ausgangsnetzwerks (7) vorgesehen. Dadurch können die schaltenden Elemente (101, 102) verlustarm geschaltet werden.
摘要翻译： 用于等离子体处理的发电机（1）具有与其连接的逆变器（6）的直流电源（2）。 开关元件连接到极性的电流供应电位和输出网络（7）。 为每个开关元件提供去耦电路以将它们与输出网络的电位分离。 。
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公开(公告)号：EP1837893A1
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：EP06006200.7
申请日：2006-03-25
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： G01R19/0061 , H01J37/32174
摘要： Bei einer Messeinrichtung (7) eines HF-Plasmasystems mit einer Auskoppeleinrichtung (8) zur Auskopplung eines oder mehrerer mit einer Leistung in Beziehung stehenden Signale und wenigstens einer Filteranordnung, der ein solches Signal zugeführt ist, ist die Filteranordnung als Bandpassfilteranordnung (14,15) ausgebildet und umfasst ein erstes und ein zweites Filterelement (22, 32, 25, 35), zwischen denen ein Entkoppelglied (24, 34) angeordnet ist. Dadurch können die Vorwärtsleistung und eine reflektierter Leistung mit sehr hoher Genauigkeit bestimmt werden.
摘要翻译： 装置（7）具有形成为带通滤波器组件（14,15）的滤波器组件，并且由两个滤波器元件组成。 过滤元件布置在止动器电路之间。 两个滤波器元件形成为低通滤波器和高通滤波器。 滤波器是无源滤波器，并且一个滤波器被布置为衰减器垫（21,31）。
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公开(公告)号：EP1720195A1
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：EP05009875.5
申请日：2005-05-06
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32045 , H01J37/32036 , H01J2237/0206
摘要： Die Erfindung betrifft eine Arcunterdrückungsanordnung (23.1) zum Löschen von Arcs in einer mit einer Wechselspannung, insbesondere MF-Wechselspannung, betriebenen Gasentladungseinrichtung (5), mit einer Arcunterdrückungseinrichtung (18) und einer diese ansteuernden Arcerkennungseinrichtung (22), wobei die Arcunterdrückungseinrichtung (18) zumindest einen steuerbaren Widerstand aufweist, der in Serienschaltung in einer von einer Wechselspannungsquelle zu einer Elektrode (3) der Gasentladungseinrichtung (5) führenden elektrischen Leitung (17) angeordnet ist. Dadurch kann verhindert werden, dass ein Arc mit Energie versorgt wird.
摘要翻译： 本发明涉及一种Arcunterdrückungsanordnung（23.1），用于熄灭在连接弧到交流电压，特别是MF AC电压操作的气体放电装置（5），具有消弧装置（18）和一个该寻址电弧检测装置（22），其中，所述消弧装置（18） 具有至少一个可控的阻力，从而导致在串联在交流电压源的一个给所述气体放装置（5）电导线（17）的电极（3）被布置。 这可以防止电弧被供应能量。
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公开(公告)号：EP1699107A1
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：EP05004860.2
申请日：2005-03-05
发明人： Pivit, Erich, Dr. , Glück, Michael
IPC分类号： H01P5/18
CPC分类号： H01P5/184
摘要： Bei einem 3dB-Koppler (100) mit mindestens einem ersten und einem zweiten elektrischen Leiter (110, 111), die voneinander beabstandet sind und die in einem Kopplungsbereich (101) kapazitiv und induktiv miteinander gekoppelt sind, wobei der erste Leiter (110) die Primärseite und der zweite Leiter (111) die Sekundärseite eines Übertragers darstellt, weisen der erste und der zweite Leiter (110, 111) jeweils eine Windungszahl n > 1 auf. Dadurch wird eine gute induktive und kapazitive Kopplung erzielt.
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