发明授权
EP1780765B1 Stage assembly, particle-optical apparatus comprising such a stage assembly, and method of treating a sample in such an apparatus
有权
级装置，具有用于在这样的设备中处理的样品这样的装置和方法粒子光学设备
- 专利标题： Stage assembly, particle-optical apparatus comprising such a stage assembly, and method of treating a sample in such an apparatus
- 专利标题（中）： 级装置，具有用于在这样的设备中处理的样品这样的装置和方法粒子光学设备
-
申请号： EP06123224.5申请日： 2006-10-31
-
公开(公告)号： EP1780765B1公开(公告)日： 2011-05-25
- 发明人: Tappel, Hendrik , Hees. van, Ian , Lankers, Danny , Giannuzzi, Lucille , Veen, van, Gerard , Young, Richard
- 申请人： FEI COMPANY
- 申请人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 US
- 专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人： FEI COMPANY
- 当前专利权人地址： 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 US
- 代理机构： Bakker, Hendrik
- 优先权： EP05110225 20051101
- 主分类号： H01J37/20
- IPC分类号： H01J37/20 ; H01L21/68 ; H01J37/30
公开/授权文献
信息查询
