发明公开
- 专利标题： LIGHT-EMITTING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING LIGHT-EMITTING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
- 专利标题（中）： 轻组分，用于生产光成分和基片处理设备
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申请号： EP07714103申请日： 2007-02-13
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公开(公告)号： EP1986471A4公开(公告)日： 2010-12-01
- 发明人: NOZAWA TOSHIHISA , MOYAMA KAZUKI , OHMI TADAHIRO , KAWAMURA CHUICHI , YOSHINO KIMIHIKO
- 申请人： TOKYO ELECTRON LTD , NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNV
- 专利权人： TOKYO ELECTRON LTD,NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNV
- 当前专利权人： TOKYO ELECTRON LTD,NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNV
- 优先权： JP2006036917 2006-02-14
- 主分类号： H05B33/10
- IPC分类号： H05B33/10 ; H01L51/50 ; H01L51/56 ; H05B33/26
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