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发明公开
LIGHT-EMITTING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING LIGHT-EMITTING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS 审中-公开
标题翻译：轻组分，用于生产光成分和基片处理设备

公开(公告)号：EP1986471A4

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：EP07714103

申请日：2007-02-13

申请人： TOKYO ELECTRON LTD , NAT UNIVERSITY CORP TOHOKU UNV

发明人： NOZAWA TOSHIHISA , MOYAMA KAZUKI , OHMI TADAHIRO , KAWAMURA CHUICHI , YOSHINO KIMIHIKO

IPC分类号： H05B33/10 , H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/26

CPC分类号： H01L51/0017 , H01L51/5012 , H01L51/56