发明公开
- 专利标题： FORMULATIONS FOR CLEANING MEMORY DEVICE STRUCTURES
- 专利标题（中）： 配方清洁储存器件结构
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申请号： EP07864023申请日： 2007-11-07
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公开(公告)号： EP2094825A4公开(公告)日： 2012-03-21
- 发明人: VISINTIN PAMELA M , KORZENSKI MICHAEL B
- 申请人： ADVANCED TECH MATERIALS
- 专利权人： ADVANCED TECH MATERIALS
- 当前专利权人： ADVANCED TECH MATERIALS
- 优先权： US86470706 2006-11-07; US94371107 2007-06-13; US93583807 2007-11-06
- 主分类号： C11D1/00
- IPC分类号： C11D1/00 ; C11D3/00 ; C11D3/37 ; C11D7/08 ; C11D7/32 ; C11D7/50
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