- 专利标题： Pyrophosphat-basiertes Bad zur Abscheidung von Zinn-Legierungsschichten
- 专利标题（英）： Pyrophosphate-based bath for depositing tin alloy layers
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申请号： EP08003786.4申请日： 2008-02-29
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公开(公告)号： EP2103717A1公开(公告)日： 2009-09-23
- 发明人: Hartmann, Philip , Kohlmann, Lars , Brunner, Heiko , Schulz, Klaus Dieter
- 申请人： ATOTECH Deutschland GmbH
- 申请人地址： Erasmusstrasse 20 10553 Berlin DE
- 专利权人： ATOTECH Deutschland GmbH
- 当前专利权人： ATOTECH Deutschland GmbH
- 当前专利权人地址： Erasmusstrasse 20 10553 Berlin DE
- 代理机构： Albrecht, Thomas
- 主分类号： C25D3/60
- IPC分类号： C25D3/60
摘要：
Beschrieben wird ein wässriges cyanid-freies Elektrolytbad zur Abscheidung von Zinn-Legierungsschichten auf Substratoberflächen, umfassend (i) eine Zinn-Ionenquelle und eine Quelle für ein weiteres Legierungselement, dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin (ii) N-Methylpyrrolidon enthält.
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