发明授权
- 专利标题： PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE VIA DANS UN SUBSTRAT RECONSTITUÉ ET DISPOSITIF CORRESPONDANT
- 专利标题（英）： METHOD OF PRODUCING A VIA IN A RECONSTITUTED SUBSTRATE AND CORRESPONDING DEVICE
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申请号： EP08760580.4申请日： 2008-06-05
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公开(公告)号： EP2162915B1公开(公告)日： 2020-09-09
- 发明人: BALERAS, François , SOURIAU, Jean-Charles , HENRY, David
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构： Ilgart, Jean-Christophe
- 优先权： FR0755577 20070607
- 国际公布： WO2008155233 20081224
- 主分类号： H01L23/538
- IPC分类号： H01L23/538 ; H01L25/10 ; H01L21/56 ; H01L21/60
公开/授权文献
- EP2162915A1 PROCEDE DE REALISATION DE VIA DANS UN SUBSTRAT RECONSTITUE 公开/授权日：2010-03-17
信息查询
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