发明公开
- 专利标题： MICRO MOVABLE ELEMENT AND MICRO MOVABLE ELEMENT ARRAY
- 专利标题（中）： MICRO移动元件和微移动元件阵列
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申请号： EP07830931申请日： 2007-10-31
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公开(公告)号： EP2216288A4公开(公告)日： 2013-07-03
- 发明人: TSUBOI OSAMU , KOUMA NORINAO , MIZUNO YOSHIHIRO , OKUDA HISAO , SONEDA HIROMITSU , MATSUMOTO TSUYOSHI
- 申请人： FUJITSU LTD
- 专利权人： FUJITSU LTD
- 当前专利权人： FUJITSU LTD
- 优先权： JP2007071197 2007-10-31
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00
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